[發明專利]手指間距可調的搬運機械手及其晶圓搬運裝置

在審

• 申請號: 201310451911.1
• 申請日: 2013-09-28
• 公開（公告）號: CN104517879A
• 公開（公告）日: 2015-04-15
• 發明（設計）人: 曲道奎;李學威;趙嘉博;陳雷;何元一;柴源
• 申請（專利權）人: 沈陽新松機器人自動化股份有限公司
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677;B25J9/08
• 代理公司: 沈陽科苑專利商標代理有限公司 21002
• 代理人: 許宗富

1.一種手指間距可調的搬運機械手，其特征在于，所述機械手包括：

至少2個手指單元（10），每一手指單元（10）設有一機械手指（11）；

一連桿（20），所述連桿（20）上固定設置有與手指單元（10）一一對應的軸承；

其中一個軸承與一個手指單元（10）固定連接，其余的手指單元（10）的后端一側開設有沿機械手指方向的槽（40），其余軸承嵌入槽（40）內并可在槽（40）內沿機械手指（11）方向移動，連桿（20）、軸承和槽（40）組成曲柄滑塊機構；

所述手指單元（10）的后端另一側設有導軌（60），導軌（60）沿豎直方向設置且與機械手指（11）方向垂直，手指單元（10）的后端另一側固定有滑塊（50），手指單元（10）通過滑塊（50）沿導軌（60）運動；

其中一個手指單元（10）沿豎直方向運動，帶動連桿（20）繞所述與一個手指單元（10）固定連接的軸承轉動，通過所述曲柄滑塊機構帶動其他手指單元（10）沿導軌（60）做上下運動。

2.如權利要求1所述的手指間距可調的搬運機械手，其特征在于，所述軸承為外螺紋軸承（30）。

3.如權利要求1所述的手指間距可調的搬運機械手，其特征在于，所述機械手還包括一外殼，所述與軸承固定連接的手指單元（10）固定于外殼上。

4.如權利要求3所述的手指間距可調的搬運機械手，其特征在于，所述導軌（60）設置于外殼上。

5.如權利要求1所述的手指間距可調的搬運機械手，其特征在于，所述每一手指單元（10）還設有托塊（12）和蓋板（13），所述機械手指（11）固定于托塊（12）和蓋板（13）之間；所述槽（40）開設于托塊（12）上。

6.如權利要求1-5任一項所述的手指間距可調的搬運機械手，其特征在于，所述手指單元（10）設有5個，在豎直方向上從上往下分別為：第一手指單元（101）、第二手指單元（102）、第三手指單元（103）、第四手指單元（104）和第五手指單元（105）；

其中，第三手指單元（103）固定于外殼上，其中一個軸承與第三手指單元（103）固定連接；

第五手指單元（105）沿豎直方向運動，帶動連桿（20）繞與第三手指單元（103）固定連接的軸承轉動，通過曲柄滑塊機構帶動其他手指單元（10）沿導軌（60）做上下運動。

7.如權利要求6所述的手指間距可調的搬運機械手，其特征在于，其中一個軸承固定于第三手指單元（103）的托塊（12）上。

8.如權利要求1-5任一項所述的手指間距可調的搬運機械手，其特征在于，所述機械手用于晶圓搬運。

9.一種晶圓搬運裝置，其特征在于，在所述晶圓搬運裝置中設有權利要求1-8任一項所述的手指間距可調的搬運機械手。