[發明專利]研磨裝置

有效

• 申請號: 201310450332.5
• 申請日: 2013-09-27
• 公開（公告）號: CN103707173A
• 公開（公告）日: 2014-04-09
• 發明（設計）人: 筱崎弘行
• 申請（專利權）人: 株式會社荏原制作所
• 主分類號: B24B37/04
• 分類號: B24B37/04;B24B37/34
• 代理公司: 北京市金杜律師事務所 11256
• 代理人: 陳偉

1.一種研磨裝置，用于將被加工物的表面平坦化，其特征在于，該研磨裝置具有：

研磨臺；

旋轉驅動該研磨臺的第一電動馬達；

能夠保持被加工物的基板保持部；和

旋轉驅動該基板保持部的第二電動馬達，

所述第一電動馬達以及第二電動馬達中至少一方的電動馬達具有多相的繞組，

所述研磨裝置具有：加權部，進行對所述各相的電流比例賦予差值的加權；和轉矩變動檢測部，通過檢測由所述加權部而將加權設定得較大的相的電流的變化，來檢測由所述研磨產生的所述電動馬達的轉矩變動。

2.根據權利要求1所述的研磨裝置，其特征在于，還具有終點檢測部，該終點檢測部基于由所述轉矩變動檢測部檢測到的所述電動馬達的轉矩變動，來檢測研磨加工的終點，該研磨加工的終點表示所述被加工物的表面的平坦化。

3.根據權利要求1所述的研磨裝置，其特征在于，所述第一電動馬達以及第二電動馬達中至少一方的電動馬達，至少具有U相、V相、和W相這三個相的繞組。

4.根據權利要求3所述的研磨裝置，其特征在于，所述第一電動馬達至少具有U相、V相、和W相這三個相的繞組。

5.根據權利要求4所述的研磨裝置，其特征在于，所述第一電動馬達為同步式或者感應式的AC伺服馬達。

6.根據權利要求1所述的研磨裝置，其特征在于，所述加權部針對一個相將加權設定得較大。

7.根據權利要求6所述的研磨裝置，其特征在于，所述一個相是V相。

8.根據權利要求1所述的研磨裝置，其特征在于，所述加權部由電流放大器構成。

9.根據權利要求1所述的研磨裝置，其特征在于，所述研磨裝置具有用于控制所述第一電動馬達的第一逆變裝置。

10.根據權利要求1所述的研磨裝置，其特征在于，所述加權部具有：

與所述第一逆變裝置并列連接且用于控制所述第一電動馬達的第二逆變裝置；和

將從該第二逆變裝置輸出的電流附加到來自所述第一逆變裝置的輸出電流中的轉換電路。

11.根據權利要求1所述的研磨裝置，其特征在于，還具有驅動所述第一電動馬達以及第二電動馬達中至少一方的電動馬達的馬達驅動器，

該馬達驅動器具有電流補償器，該電流補償器基于所述各相的各自的電流指令值、與供給至所述電動馬達的實際的電流值之間的偏差，來補償所述各相的電流，

所述加權部相對于所述電流補償器輸入所述各相的電流比例的指令信號，

所述電流補償器基于從所述加權部輸入的電流比例的指令信號，來對所述各相的電流比例賦予差值。

12.根據權利要求1所述的研磨裝置，其特征在于，還具有驅動所述第一電動馬達以及第二電動馬達中至少一方的電動馬達的馬達驅動器，

該馬達驅動器具有：

運算器，基于所述電動馬達的旋轉位置的檢測值來求出所述電動馬達的轉速；

速度補償器，基于經由輸入接口而輸入的所述電動馬達的轉速的指令值、與由所述運算器求出的所述電動馬達的轉速之間的偏差，來生成向所述電動馬達供給的電流的指令信號；和

變換器，基于根據所述電動馬達的旋轉位置的檢測值而生成的電角度信號、和由所述速度補償器生成的電流的指令信號，來生成所述各相中的至少兩個相的電流指令值，

所述加權部相對于所述變換器輸入所述各相中的至少兩個相的電流比例的指令信號，

所述變換器基于從所述加權部輸入的電流比例的指令信號，來對所述各相中的至少兩個相的電流比例賦予差值。

13.根據權利要求1所述的研磨裝置，其特征在于，還具有驅動所述第一電動馬達以及第二電動馬達中至少一方的電動馬達的逆變裝置，

所述加權部具有放大器，并接收所述各相的電流的放大值的指令信號，其中，所述放大器設在所述逆變裝置的后級且將從該逆變裝置輸出的各相的電流獨立地放大并向所述電動馬達供給，

所述放大器基于所述接收的電流的放大值的指令信號來將各相的電流放大，由此，對所述各相的電流比例賦予差值。