[發明專利]清洗液吸取裝置和顯影液沖洗設備

有效

• 申請號: 201310446858.6
• 申請日: 2013-09-25
• 公開（公告）號: CN103521491A
• 公開（公告）日: 2014-01-22
• 發明（設計）人: 張治超;郭總杰;劉正;張小祥
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司;北京京東方顯示技術有限公司
• 主分類號: B08B13/00
• 分類號: B08B13/00;B08B11/04
• 代理公司: 北京路浩知識產權代理有限公司 11002
• 代理人: 孟憲功

技術領域

本發明涉及顯示技術領域，特別涉及一種通過吸取頭對混有顯影液的清洗液進行吸取以實現顯示基板顯影均勻的清洗液吸取裝置及安裝有該清洗液吸取裝置的顯影液沖洗設備。

背景技術

目前在顯示基板制造工藝中，顯影液沖洗設備存在沖洗不均的問題，這會導致顯示基板的局部顯影圖形的關鍵尺寸偏大或偏小問題，而不符合設計要求。另外，由于沖洗液的流量較大，沖洗液會推動正在作用的顯影液流向顯示基板邊緣，這會導致顯示基板邊緣的藥液流量增大，從而導致邊緣的顯影效果增強，也會導致該邊緣區域顯影圖形的關鍵尺寸不均；這是因為：顯影液沖洗設備的沖洗裝置一般是朝向顯示基板前進方向相反的方向均勻地噴出清潔水，來達到稀釋并沖洗顯示基板上的顯影液的目的；以上設計存在弊端，即:在實際的工廠生產過程中，由于一些不可預見因素的存在，沖洗裝置噴出的清潔水因其噴出的速度和距離限制導致在顯示基板出現局部的不均勻現象，這會導致顯示基板局部因未被沖洗而發生顯影圖形的關鍵尺寸發生變化；另外，在顯示基板顯影過程中，由于清潔水的噴出，顯影液會被驅趕向顯示基板邊緣流動，并流出顯示基板，這導致在沖洗過程中，顯示基板邊緣處的顯影液總體流量較中間位置處的流量大，導致該顯示基板邊緣處的顯影效果增強，導致顯示基板整體的顯影不均。

因此，需要提供一種清洗液吸取裝置及安裝有該清洗液吸取裝置的顯影液沖洗設備以解決上述問題。

發明內容

本發明所解決的技術問題是提供一種清洗液吸取裝置和顯影液沖洗設備；該清洗液吸取裝置通過吸取頭對混有顯影液的清洗液進行吸取以實現顯示基板顯影均勻的目的。

本發明的目的是通過以下技術方案實現的：一種清洗液吸取裝置，包括安裝在顯示基板傳送臺上的吸取頭布放架和設置在該吸取頭布放架上的多個吸取頭，所述吸取頭連接有吸取泵。

進一步地，所述吸取頭是由設置在所述吸取頭布放架下端的多片橫板和多片豎板橫縱交錯形成的隔斷。

進一步地，所述橫板與所述顯示基板傳送臺長度方向垂直設置，且各所述橫板至所述顯示基板傳送臺的距離沿所述顯示基板傳送的方向依次遞增。

進一步地，所述吸取頭通過吸取管路與所述吸取泵連通；所述吸取管路包括用于連接所述吸取頭的支路吸管和用于連接所述吸取泵與所述支路吸管的總路吸管。

進一步地，所述總路吸管上設有用于調整所述總路吸管吸力的總路流速控制閥。

進一步地，所述支路吸管上設有用于調整所述支路吸管吸力的支路流速控制閥。

進一步地，所述總路流速控制閥和所述支路流速控制閥均采用手控蝶閥或電控蝶閥。

進一步地，還包括用于自動控制所述吸取頭吸力的總控電路，所述總控電路分別與所述總路流速控制閥和所述支路流速控制閥電連接。

進一步地，還包括用于實時監測所述吸取頭吸力的壓力傳感器，所述壓力傳感器與所述總控電路電連接。

一種顯影液沖洗設備，包括上述中任一項所述的清洗液吸取裝置，所述清洗液吸取裝置通過所述吸取頭布放架與所述顯示基板傳送臺對應安裝。

進一步地，還包括沖洗裝置，所述沖洗裝置設置在所述基板傳送臺的上方，所述清洗液吸取裝置和所述沖洗裝置沿顯示基板傳送方向依次設置。

本發明與現有技術相比具有以下的優點：

1、本發明采用吸取頭的設計，可對經顯影液沖洗設備沖洗后的清洗液進行及時吸取，以解決現有沒安裝清洗液吸取裝置的顯影液沖洗設備對顯示基板表面顯影液沖洗不均的現象；通過多個吸取頭配合顯示基板傳送臺對顯示基板傳送的速度，以達到對顯示基板表面清洗液的均勻吸取；同時有效抑制了清潔水對還在顯影且還未到達沖洗區域的顯示基板進行沖洗；另外，在顯示基板顯影過程中，吸取頭吸取清洗液可有效避免由清潔水的噴出將顯影液驅趕向顯示基板邊緣并流出玻璃基板而導致的玻璃基板邊緣處顯影液總體流量較中間位置處的流量大，使顯示基板邊緣的顯影效果增大的情況出現；從而有效保證顯示基板的顯影均勻性。

2、本發明采用相對封閉的隔斷設計，可將各吸取頭阻隔，以避免被各吸取頭吸取的清洗液之間相互影響，從而導致吸取不均的問題出現；有效地保證了清洗液吸取裝置的吸取質量；從客觀上保證了顯示裝置的顯影效果。

3、本發明采用吸取頭包括多個吸取頭的設計，可將清洗液因流體補償性所帶來的局部吸取不均的現象從各吸取頭之間相互影響弱化到只在各吸取頭內產生影響，從而保證了清洗液吸取裝置對于整個顯示基板清洗液吸取的均勻性；從而有效保證了顯影液沖洗設備對于顯示基板的沖洗效果。