[發明專利]一種電磁鐵輔助驅動的新型精密定位工作臺

無效

• 申請號: 201310445803.3
• 申請日: 2013-09-27
• 公開（公告）號: CN103465043A
• 公開（公告）日: 2013-12-25
• 發明（設計）人: 葉邦華
• 申請（專利權）人: 蘇州凱歐機械科技有限公司
• 主分類號: B23Q1/26
• 分類號: B23Q1/26;B23Q1/34;B23Q1/74
• 代理公司: 南京經緯專利商標代理有限公司 32200
• 代理人: 曹毅

技術領域

本發明涉及超精密定位領域，具體涉及一種電磁鐵輔助驅動的新型精密定位工作臺。

背景技術

隨著電子技術，生物工程等學科的發展，精密工作臺被國內外廣泛研究，對精密工作臺的行程和分辨率要求越來越高。

精密工作臺按精度高低和行程大小可分為兩類：小行程、超高精度的工作臺和大行程、高精度工作臺。前者大多采用電磁元件或壓電元件等作為驅動裝置，其研究技術已經相當成熟，但行程多在數十微米范圍內，無法滿足大行程要求，后者行程范圍在幾十毫米到幾百毫米甚至更大范圍，但精度不高，無法完成高精度定位要求。因此結合兩者的優點，研究出一種大行程、超高精度工作臺可同時兼顧大行程和高定位精度。

發明內容

本發明的目的在于克服現有技術存在的問題，提供一種電磁鐵輔助驅動的新型精密定位工作臺。

為實現上述技術目的，達到上述技術效果，本發明通過以下技術方案實現：

一種電磁鐵輔助驅動的新型精密定位工作臺，包括底座，大工作臺和小工作臺，所述大工作臺安裝在所述底座的導軌上，所述小工作臺安裝在所述大工作臺的導軌上，在所述小工作臺內部安裝有連接塊，所述連接塊連接電磁鐵驅動器，所述大工作臺側面通過絲杠螺母連接副連接精密絲杠，所述精密絲杠通過聯軸器連接交流伺服電機。

進一步的，所述電磁鐵驅動器運動方向與所述小工作臺一致，所述連接塊與所述小工作臺的縫隙之間設置有高彈性墊料層，所述連接塊與所述小工作臺同步運動，在所述電磁鐵驅動器外側還安裝有光柵尺，在所述光柵尺兩側分別安裝半導體激光器和光電接收器。

本發明的有益效果是:

采用本發明技術方案，實現了大行程工作臺的超高精度定位，并且結構較小，運動靈活，易于安裝調試。

附圖說明

圖1為本發明的結構示意圖。

圖中標號說明：1、底座，11、導軌，2、大工作臺，21、導軌，3、小工作臺，4、連接塊，5、電磁鐵驅動器，6、絲杠螺母連接副,7、精密絲杠，8、聯軸器，9、交流伺服電機，10、光柵尺，12、半導體激光器，13、光電接收器，14、高彈性墊料層。

具體實施方式

下面將參考附圖并結合實施例，來詳細說明本發明。

參照圖1所示，一種電磁鐵輔助驅動的新型精密定位工作臺，包括底座1，大工作臺2和小工作臺3，所述大工作臺2安裝在所述底座1的導軌11上，所述小工作臺3安裝在所述大工作臺2的導軌21上，在所述小工作臺3內部安裝有連接塊4，所述連接塊4連接電磁鐵驅動器5，所述大工作臺2側面通過絲杠螺母連接副6連接精密絲杠7，所述精密絲杠7通過聯軸器8連接交流伺服電機9。

進一步的，所述電磁鐵驅動器5運動方向與所述小工作臺3一致，所述連接塊4與所述小工作臺3的縫隙之間設置有高彈性墊料層14，所述連接塊4與所述小工作臺3同步運動，在所述電磁鐵驅動器5外側還安裝有光柵尺10，在所述光柵尺10兩側分別安裝半導體激光器12和光電接收器13。

本發明的原理：

大工作臺2通過交流伺服電機9的驅動來實現大行程范圍內微米級精度的定位，而小工作臺3通過電磁鐵驅動器5來實現微米行程范圍內納米級精度的補償定位，高彈性墊料層14保證了小工作臺3和連接塊4運動的同步性；光柵尺10，半導體激光器12和光電接收器13的檢測組合可以通過控制器實現工作臺的全閉環控制，進一步提高工作臺的精度。

以上所述僅為本發明的優選實施例而已，并不用于限制本發明，對于本領域的技術人員來說，本發明可以有各種更改和變化。凡在本發明的精神和原則之內，所作的任何修改、等同替換、改進等，均應包含在本發明的保護范圍之內。