[發(fā)明專利]掃描電鏡用掃描信號(hào)與工頻同步的方法、裝置和系統(tǒng)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201310444740.X
• 申請(qǐng)日: 2013-09-26
• 公開（公告）號(hào): CN103700563A
• 公開（公告）日: 2014-04-02
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王大千;韓勇
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 北京中科科儀股份有限公司
• 主分類號(hào): H01J37/26
• 分類號(hào): H01J37/26;H01J37/28;H01J37/244;G01N23/22
• 代理公司: 北京三聚陽光知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11250
• 代理人: 寇海俠

1.一種掃描電鏡用掃描信號(hào)與工頻同步的裝置，其特征在于，包括：

過零檢測(cè)單元，用于從交流電壓的過零點(diǎn)開始產(chǎn)生同步信號(hào)，并將產(chǎn)生的所述同步信號(hào)輸出給控制單元；

控制單元，從所述同步信號(hào)的上升沿到達(dá)時(shí)刻開始對(duì)信號(hào)進(jìn)行可編程延時(shí)產(chǎn)生延時(shí)同步信號(hào)，產(chǎn)生的所述延時(shí)同步信號(hào)用于產(chǎn)生與工頻同步的掃描信號(hào)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種掃描電鏡用掃描信號(hào)與工頻同步的裝置，其特征在于，所述過零檢測(cè)單元進(jìn)一步包括：第一電阻R1、第一二極管T1、第二二極管T2、比較器和第二電阻R2，其中，

所述第一電阻R1的一端與工頻電源的輸出端相連；所述第一電阻R1的另一端與所述第一二極管T1的負(fù)極、所述第二二極管T2的正極和所述比較器的正相輸入端相連；所述第一二極管T1的正極、所述第二二極管T2的負(fù)極和所述比較器的反相輸入端相連并共同接地；所述比較器的輸出端與所述第二電阻R2的一端相連。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種掃描電鏡用掃描信號(hào)與工頻同步的裝置，其特征在于，所述過零檢測(cè)單元還包括光耦合器，所述光耦合器的輸入端與所述第二電阻R2的另一端相連。

4.根據(jù)權(quán)利要求1-3任一所述的一種掃描電鏡用掃描信號(hào)與工頻同步的裝置，其特征在于，所述控制單元為單片機(jī)STM32，所述單片機(jī)STM32的外部中斷觸發(fā)端口輸入所述同步信號(hào)，所述同步信號(hào)的上升沿觸發(fā)單片機(jī)STM32的外部中斷對(duì)所述同步信號(hào)進(jìn)行可編程延時(shí)得到所述延時(shí)同步信號(hào)。

5.一種掃描電鏡用掃描信號(hào)與工頻同步的方法，其特征在于，包含以下步驟：

對(duì)工頻電源從過零點(diǎn)開始產(chǎn)生同步信號(hào)并輸出；

從所述同步信號(hào)的上升沿到達(dá)時(shí)刻開始對(duì)信號(hào)進(jìn)行可編程延時(shí)產(chǎn)生延時(shí)同步信號(hào)，產(chǎn)生的所述延時(shí)同步信號(hào)用于產(chǎn)生與工頻同步的掃描信號(hào)。

6.一種掃描電鏡用掃描信號(hào)與工頻同步的系統(tǒng)，其特征在于，包括：

降壓單元，降壓單元的輸入端與工頻電源的輸出端相連，將輸入的電壓降為安全電壓后輸出給過零檢測(cè)單元；

過零檢測(cè)單元，用于從交流電壓的過零點(diǎn)開始產(chǎn)生同步信號(hào)，并將產(chǎn)生的所述同步信號(hào)輸出給控制單元；

控制單元，從所述同步信號(hào)的上升沿到達(dá)時(shí)刻開始對(duì)信號(hào)進(jìn)行可編程延時(shí)產(chǎn)生延時(shí)同步信號(hào)并控制數(shù)模轉(zhuǎn)換單元輸出與延時(shí)同步信號(hào)同步的數(shù)字量的掃描信號(hào)；

數(shù)模轉(zhuǎn)換單元，將控制單元輸出的數(shù)字量的所述延時(shí)同步信號(hào)轉(zhuǎn)換成模擬量的掃描信號(hào)，并將生成的所述模擬量的掃描信號(hào)輸出至功率放大單元；

功率放大單元，將所述模擬量的掃描信號(hào)進(jìn)行放大生成與所述工頻信號(hào)同步的掃描信號(hào)并輸出。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種掃描電鏡用掃描信號(hào)與工頻同步的系統(tǒng)，其特征在于，所述降壓單元為取樣變壓器。

8.根據(jù)權(quán)利要求6或7所述的一種掃描電鏡用掃描信號(hào)與工頻同步的系統(tǒng)，其特征在于，所述數(shù)模轉(zhuǎn)換單元是DAC8581。

9.根據(jù)權(quán)利要求6-8任一所述的一種掃描電鏡用掃描信號(hào)與工頻同步的系統(tǒng)，其特征在于，所述功率放大單元為大電流運(yùn)算放大器。