[發明專利]一種硅基薄膜太陽能電池激光刻劃設備

有效

• 申請號: 201310444349.X
• 申請日: 2013-09-26
• 公開（公告）號: CN103521926A
• 公開（公告）日: 2014-01-22
• 發明（設計）人: 李毅;雷明初
• 申請（專利權）人: 深圳市創益科技發展有限公司
• 主分類號: B23K26/36
• 分類號: B23K26/36;B23K26/04;B23K26/064;B23K26/142;H01L31/18
• 代理公司: 深圳市毅穎專利商標事務所(普通合伙) 44233
• 代理人: 段立麗;李奕暉

1.?一種硅基薄膜太陽能電池激光刻劃設備，包括安裝在支架上的光學系統、基片工作臺，光學系統主要由激光器、擴束鏡、聚焦鏡構成，激光器的輸出端裝有擴束鏡，其特征在于所述光學系統還包括順序安裝在擴束鏡和聚焦鏡之間的分光鏡和振鏡，激光器發射出的激光經擴束鏡進入分光鏡分成反射光和折射光，該反射光與折射光分別進入相應的振鏡和聚光鏡形成平行的激光束，由平行激光束刻劃膜層。

2.?根據權利要求1所述的硅基薄膜太陽能電池激光刻劃設備，其特征在于所述反射光或折射光傳播方向上的振鏡前面裝有反射鏡。

3.?根據權利要求1或2所述的硅基薄膜太陽能電池激光刻劃設備，其特征在于所述振鏡包括由電機控制自由轉動的X軸振鏡和Z軸振鏡，且Z軸振鏡和分光鏡之間裝有擋光裝置。

4.?根據權利要求3所述的硅基薄膜太陽能電池激光刻劃設備，其特征在于所述擋光裝置前面設有反射鏡。

5.?根據權利要求1或2所述的硅基薄膜太陽能電池激光刻劃設備，其特征在于所述聚焦鏡為F-θ聚焦鏡，該聚焦鏡的端口有保護鏡。

6.?根據權利要求1所述的硅基薄膜太陽能電池激光刻劃設備，其特征在于所述光學系統至少有兩套，每套光學系統內至少有兩個振鏡。

7.?根據權利要求1所述的硅基薄膜太陽能電池激光刻劃設備，其特征在于還包括除塵裝置，該除塵裝置安裝在支架上，位于光學系統上方，除塵裝置主要由除塵罩、粉塵過濾機構和抽氣風機及輔助吹掃機構組成。

8.?根據權利要求7所述的硅基薄膜太陽能電池激光刻劃設備，其特征在于所述輔助吹掃機構包括依次連接的吹掃氣體源、氣體過濾單元、電磁控制閥、氣體壓力控制單元、氣體管道和氣體吹掃單元，氣體管道連通到氣體吹掃單元。

9.?根據權利要求7所述的硅基薄膜太陽能電池激光刻劃設備，其特征在于所述除塵罩為倒三角形和梯形疊加形狀的空腔，梯形位于倒三角形下端，呈底端敞口狀，在敞口內側有半圓，在倒三角形頂端依次連接粉塵過濾裝置和抽氣風機。

10.?根據權利要求8所述的硅基薄膜太陽能電池激光刻劃設備，其特征在于所述氣體吹掃單元為中空圓管，其上分布多個氣孔，且氣孔的末端為圓錐形擴孔。

11.?根據權利要求10所述的硅基薄膜太陽能電池激光刻劃設備，其特征在于所述氣體吹掃單元的中空圓管為不銹鋼管或氯化聚氯乙烯管。

12.?根據權利要求8所述的硅基薄膜太陽能電池激光刻劃設備，其特征在于所述氣體吹掃單元為兩個，分別位于除塵罩的底端敞口的兩外側，中空圓管上的氣孔朝向除塵罩下端的內側。