[發明專利]一種太赫茲波遠場探測超衍射分辨成像儀

有效

• 申請號: 201310442738.9
• 申請日: 2013-09-26
• 公開（公告）號: CN103499392A
• 公開（公告）日: 2014-01-08
• 發明（設計）人: 孟坤;朱禮國;劉喬;鐘森城;雷江波
• 申請（專利權）人: 中國工程物理研究院流體物理研究所
• 主分類號: G01J3/42
• 分類號: G01J3/42
• 代理公司: 成都九鼎天元知識產權代理有限公司 51214
• 代理人: 徐宏;吳彥峰

1.一種太赫茲波遠場探測超衍射分辨成像儀，其特征在于包括：

太赫茲發射器，用于產生太赫茲波；

激光產生裝置，用于產生激光光束，并進行激光光束調制；

角度轉換器，用于調節激光光束入射角、太赫茲波入射角，使得激光光束入射角、太赫茲波入射角相同，并且激光光束、太赫茲波中心點重合；所述太赫茲波通過太赫茲發射器產生；?

孔徑成像裝置，用于將通過角度轉換器調節后的激光光束、太赫茲波，聚焦到孔徑成像裝置的測試窗口；實現對被測樣品的成像，其中孔徑成像裝置通過二維掃描平移臺移動；?

太赫茲探測器，用于探測被測樣品反射或透射的太赫茲波，并輸出相應的電信號；

鎖相放大器，用于接收激光產生裝置產生的參考信號，同時接收太赫茲探測器輸出的電信號，進行信號提取及放大，得到被測樣品信號，計算機接收鎖相放大器輸出信號并重構出被測樣品圖像。

2.根據權利要求1所述的一種太赫茲波遠場探測超衍射分辨成像儀，其特征在于所述激光產生裝置包括激光器、斬波器、第一透鏡，所述激光器輸出的激光光束通過第一透鏡、角度轉換器轉換后聚焦于孔徑成像裝置，所述斬波器輸出其工作頻率信號給鎖相放大器一輸入端，斬波器輸出的工作頻率信號作為參考信號，所述第一透鏡是將通過斬波器的激光光束進行聚焦，使得被測樣品輪廓直徑Y_R為調制后的激光器光束直徑G_R滿足Y_R≥2G_R。

3.根據權利要求1所述的一種太赫茲波遠場探測超衍射分辨成像儀，其特征在于所述孔徑成像裝置包括：形成測試窗口的熔融石英層、二氧化釩薄膜層以及被測樣品層，所述二氧化釩薄膜層兩端面分別與熔融石英層下表面與被測樣品層上表面緊貼，所述太赫茲波、經調制的激光器聚焦于熔融石英層下表面，所述二氧化釩薄膜層上表面與熔融石英層下表面緊貼，被測樣品上表面緊貼于二氧化釩薄膜層下表面，被測樣品下表面透射或者被測樣品上表面反射的太赫茲波通過太赫茲探測器接收。

4.根據權利要求1所述的一種太赫茲波遠場探測超衍射分辨成像儀，其特征在于所述角度轉換器是導電玻璃時：激光產生裝置產生的激光器光束透過導電玻璃，隨后入射到孔徑成像裝置表面，太赫茲光譜裝置產生的太赫茲波通過導電玻璃反射到孔徑成像裝置表面；當角度轉換器是硅片時：激光器產生的激光器光束通過硅片反射到孔徑成像裝置表面；太赫茲光譜裝置產生的太赫茲波透過硅片，隨后入射到孔徑成像裝置表面。

5.根據權利要求1所述的一種太赫茲波遠場探測超衍射分辨成像儀，其特征在于所述鎖相放大器一輸入端接收到斬波器輸出的工作頻率信號作為參考信號，依此提取鎖相放大器另一輸入端接收的太赫茲波差值電信號，并對此差值電信號進行放大。

6.根據權利要求1至5之一所述的一種太赫茲波遠場探測超衍射分辨成像儀，其特征在于還包括第二透鏡，所述第二透鏡對太赫茲發射器輸出的太赫茲波進行聚焦，然后將聚焦后的太赫茲波輸入到角度轉換器。