[發(fā)明專利]光刻投影物鏡系統(tǒng)中光學(xué)元件的軸向宏微調(diào)節(jié)裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201310441881.6
• 申請(qǐng)日: 2013-09-25
• 公開（公告）號(hào): CN103472559A
• 公開（公告）日: 2013-12-25
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 彭海峰;鞏巖;倪明陽;趙磊;秦碩
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中國科學(xué)院長春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所
• 主分類號(hào): G02B7/02
• 分類號(hào): G02B7/02;G03F7/20
• 代理公司: 長春菁華專利商標(biāo)代理事務(wù)所 22210
• 代理人: 南小平

1.光刻投影物鏡系統(tǒng)中光學(xué)元件的軸向宏微調(diào)節(jié)裝置，其特征是，包括電容傳感器（1）、鏡框（3）、宏微調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)（4）和導(dǎo)向?qū)к墸?），電容傳感器（1）設(shè)置在鏡框（3）的上方，用于檢測鏡框（3）的移動(dòng)距離；宏微調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)（4）設(shè)置在鏡框（3）的邊框下面，用于對(duì)鏡框（3）的宏微動(dòng)調(diào)節(jié)；導(dǎo)向?qū)к墸?）設(shè)置在鏡框（3）的邊框外側(cè)，用于限制鏡框（3）的移動(dòng)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光刻投影物鏡系統(tǒng)中光學(xué)元件的軸向宏微調(diào)節(jié)裝置，所述鏡框（3）包括周向均布的三個(gè)凸臺(tái)（3-1）及三個(gè)導(dǎo)向凸臺(tái)（3-2）；宏微調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)（4）作用在凸臺(tái)（3-1）上，導(dǎo)向凸臺(tái)（3-2）與導(dǎo)向?qū)к墸?）配合；宏微調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)（4）包括導(dǎo)軌（4-1）、作用平臺(tái)（4-2）、壓電驅(qū)動(dòng)器（4-3）、底座（4-4）、第一聯(lián)接螺釘（4-5）、步進(jìn)電機(jī)（4-6）、絲杠（4-7）、第二聯(lián)接螺釘（4-8）和驅(qū)動(dòng)圓頭（4-9）；導(dǎo)軌（4-1）由第一聯(lián)接螺釘（4-5）與底座（4-4）聯(lián)接在一起；作用平臺(tái)（4-2）與導(dǎo)軌（4-1）配合；壓電驅(qū)動(dòng)器（4-3）通過第二聯(lián)接螺釘（4-8）與作用平臺(tái)（4-2）固定在一起；步進(jìn)電機(jī)（4-6）與絲杠（4-7）聯(lián)接在一起，帶動(dòng)絲杠（4-7）轉(zhuǎn)動(dòng)，驅(qū)動(dòng)圓頭（4-9）作用在鏡框（3）的凸臺(tái)（3-1）上，推動(dòng)鏡框（3）作軸向運(yùn)動(dòng)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的光刻投影物鏡系統(tǒng)中光學(xué)元件的軸向宏微調(diào)節(jié)裝置，壓電驅(qū)動(dòng)器（4-3）對(duì)稱設(shè)置在絲杠（4-7）兩側(cè)。