[發(fā)明專利]多通道石英晶體微天平檢測裝置

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201310441786.6
• 申請日: 2013-09-23
• 公開（公告）號: CN103471950A
• 公開（公告）日: 2013-12-25
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 梁金星;黃佳
• 申請（專利權(quán)）人: 東南大學(xué)
• 主分類號: G01N5/00
• 分類號: G01N5/00
• 代理公司: 南京瑞弘專利商標事務(wù)所(普通合伙) 32249
• 代理人: 楊曉玲

1.多通道石英晶體微天平檢測裝置，其特征在于：包括上針探頭（16）、下針探頭（18）、底座（1）、石英晶片（12）、硅膠墊片（8）和封蓋（4），所述底座（1）上表面設(shè)有底座凹槽（2），在所述底座凹槽（2）內(nèi)嵌置有石英晶片（12），所述石英晶片（12）下表面中部設(shè)有開口向下兩個以上相互獨立的石英晶片凹槽，在所述石英晶片（12）整個下表面鍍有一層下電極，在所述每個石英晶片凹槽的背面對應(yīng)位置均鍍有一層上電極，所述硅膠墊片（8）設(shè)置在底座（1）的上面，在所述硅膠墊片（8）上與所述石英晶片凹槽對應(yīng)位置開有上下貫通的中心長通孔（10），所述所有石英晶片凹槽均位于所述中心長通孔（10）橫截面范圍內(nèi)，所述中心長通孔（10）橫截面位于所述石英晶片（12）橫截面范圍內(nèi)，所述封蓋（4）位于所述硅膠墊片（8）上；

在所述封蓋（4）上分別開設(shè)進樣通道（5）和出樣通道（6），與所述石英晶片（12）、中心長通孔（10）和封蓋（4）的下表面構(gòu)成連通池，所述上電極通過鍍層引線引向石英晶片（12）邊緣，所述上針探頭（16）穿過封蓋（4）和硅膠墊片（8）通過鍍層引線與所述上電極連接，所述下針探頭（18）穿過底座（1）與所述下電極連接。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多通道石英晶體微天平檢測裝置，其特征在于：所述上電極、下電極和鍍層引線為鉻和金鍍層。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多通道石英晶體微天平檢測裝置，其特征在于：所述石英晶片（12）的厚度為16μm-30μm，石英晶片（12）的基本頻率范圍為30MHz-100MHz。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多通道石英晶體微天平檢測裝置，其特征在于：硅膠墊片（8）的厚度為100μm-1000μm。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多通道石英晶體微天平檢測裝置，其特征在于：所述上針探頭（16）為上彈簧針探頭，下針探頭（18）為下彈簧針探頭。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多通道石英晶體微天平檢測裝置，其特征在于：所述封蓋（4）和底座（1）的制作材料為石英玻璃或者有機玻璃。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多通道石英晶體微天平檢測裝置，其特征在于：所述底座（4）、硅膠墊片（8）和封蓋（4）通過一對螺絲桿連接。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多通道石英晶體微天平檢測裝置，其特征在于：所述中心通孔（10）的形狀為足球場形。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多通道石英晶體微天平檢測裝置，其特征在于：所述石英晶片（12）的厚度大于底座凹槽（2）的深度，且石英晶片（12）的橫截面比底座凹槽（2）的橫截面小。