[發明專利]全自動半導體封裝微塵清洗設備

有效

• 申請號: 201310440029.7
• 申請日: 2013-09-24
• 公開（公告）號: CN103456605A
• 公開（公告）日: 2013-12-18
• 發明（設計）人: 高輝武;曾志家
• 申請（專利權）人: 深圳市凱爾迪光電科技有限公司
• 主分類號: H01L21/02
• 分類號: H01L21/02;H01L21/8238
• 代理公司: 深圳市精英專利事務所 44242
• 代理人: 李新林

1.一種全自動半導體封裝微塵清洗設備，其特征在于，包括：

殼體，所述殼體由下殼體（100）和設置在下殼體（100）上方的上殼體（200）構成；

所述下殼體（100）中安裝有電控箱（101）、噴淋泵（103）和主軸驅動機構（300），所述主軸驅動機構（300）包括有電機（301）、電機固定座（302）、主軸（303）、主軸固定座（305）和葉輪盤（306），所述電機（301）固定安裝在電機固定座（302）中，主軸（303）下端通過電機固定座（302）與電機（301）連接，上端穿過主軸固定座（305）與葉輪盤（306）固定連接；所述葉輪盤（306）上設置有多個固定板（307），所述固定板（307）中設置有多個用于固定待清洗半導體的卡孔（308）；

所述上殼體（200）內設置有一腔體（201），所述腔體（201）中設置有一防護罩（202），所述葉輪盤（306）安裝在防護罩（202）中，且可通過電機（301）帶動主軸（303）轉動在防護罩（202）內旋轉；在腔體（201）內的葉輪盤（306）上下兩側各安裝有一個可旋轉的噴淋管（500），所述噴淋管（500）上設置有多個二流體噴淋頭（400），所述二流體噴淋頭（400）包括有進氣端（401）、進水端（402）和噴嘴（403），所述進氣端（401）通過噴淋管（500）與外部空壓機連接，所述進水端（402）通過進水管與噴淋泵（103）連接，由進氣端（401）進入的壓縮空氣和由進水端（402）進入的清洗液通過噴嘴（403）后形成去離子霧化水分子，并由噴嘴（403）的霧化出口端（404）分別向葉輪盤（306）的上下兩面進行噴淋，對固定在卡孔（308）中的待清洗半導體進行清洗。

2.根據權利要求1所述的全自動半導體封裝微塵清洗設備，其特征在于，所述上殼體（200）的側面還設置有一用于對清洗后半導體進行干燥處理的加熱板（900）。

3.根據權利要求2所述的全自動半導體封裝微塵清洗設備，其特征在于，所述上殼體（200）的上方還設置有一空氣過濾機構（600），所述空氣過濾機構（600）包括風扇（601）、過濾層（602）和過濾芯（603）；所述上殼體（200）的側面還設置有一排氣口（800），通過所述空氣過濾機構（600）和所述排氣口（800）可對清洗后半導體進行抽干處理。

4.根據權利要求1所述的全自動半導體封裝微塵清洗設備，其特征在于，所述噴淋管（500）通過一旋轉機構安裝在腔體（201）的內側壁，在對待清洗半導體清洗之前，噴淋管（500）對應旋轉至葉輪盤（306）的上下兩側；在待清洗半導體清洗完成之后，噴淋管（500）對應旋轉回腔體（201）的內側壁。

5.根據權利要求1所述的全自動半導體封裝微塵清洗設備，其特征在于，所述防護罩（202）中還設置有一延伸到上殼體（200）外部的廢液出口（203），用于將噴淋清洗后的廢液排出。

6.根據權利要求1所述的全自動半導體封裝微塵清洗設備，其特征在于，所述下殼體（100）中還安裝有一氣缸（102），所述氣缸（102）上端對應與安裝在腔體（201）窗口處的玻璃門連接，用于控制所述玻璃門的關閉或開啟。