[發明專利]基板搬送裝置、基板作業裝置以及搬送帶

在審

• 申請號: 201310439204.0
• 申請日: 2013-09-24
• 公開（公告）號: CN103717052A
• 公開（公告）日: 2014-04-09
• 發明（設計）人: 小木曾武
• 申請（專利權）人: 雅馬哈發動機株式會社
• 主分類號: H05K13/02
• 分類號: H05K13/02
• 代理公司: 中原信達知識產權代理有限責任公司 11219
• 代理人: 穆德駿;謝麗娜

技術領域

本發明涉及搬送基板的基板搬送裝置、對由基板搬送裝置搬送至作業位置的基板實行指定的作業的基板作業裝置、以及適于基板搬送裝置的搬送帶。作為基板作業裝置進行的作業，包括例如表面安裝作業、基板檢查作業、涂敷劑的涂敷作業、印刷作業、安裝有元件的基板的回流作業等。

背景技術

在表面安裝機等基板作業裝置中，基板被搬入作業位置，另外，作業結束后基板從作業位置被搬出。為了進行這樣的基板搬送，基板作業裝置中裝備有基板搬送裝置。例如日本專利公開公報特開2009-289780號公報(以下，簡稱為“專利文獻1”)的圖3中記載的基板搬送裝置具有左右一對搬送帶。該基板搬送裝置具備自以往廣泛使用的一般的平帶作為各搬送帶。各搬送帶利用寬度方向(左右方向)的內側部分來支撐基板，通過由驅動馬達的驅動而使各搬送帶移動(行走)來搬送該基板。另外，引導部件對應于每一個搬送帶而設置。各引導部件從上方覆蓋搬送帶的寬度方向的外側端部。各引導部件在各自寬度方向內側具有垂直的引導面，利用所述引導面引導由搬動帶搬送的基板的側端面，從而將搬送中的基板保持為一定的姿勢。如此來謀求基板搬送的穩定。專利文獻1中記載的基板搬送方式稱為“以往例1”。

另外，日本專利公開公報特開2000-264414號(以下，簡稱為“專利文獻2”)的圖1、圖2、圖4、圖5中，記載有與以往例1不同的兩種基板搬送裝置。其中的一基板搬送裝置(圖4、圖5中所示的裝置)的各搬送帶由平帶構成，以該搬送帶的寬度方向(左右方向)整體來支撐基板的下表面。并且，左右一對的引導部件分別設置在左右的搬送帶的外側，以從搬送帶的外側相夾基板的方式進行引導。這樣的基板搬送方式稱為“以往例2”。

專利文獻2中記載的另一基板搬送裝置(圖1、圖2所示的裝置)使用附加有引導功能的搬送帶進行基板搬送。以下，將該基板搬送裝置稱為“以往例3”。該以往例3中，以各搬送帶中的寬度方向內側端部來支撐基板的下表面，該內側端部作為用于搬送基板的搬送部發揮功能。另外，各搬送帶中與所述內側端部(搬送部)相連的寬度方向外側端部向上方突出，該突出部分通過從外側約束基板從而作為引導部發揮作用。

如此，自以往已有各種的基板搬送方式被提出，但是每一方式的對基板作業裝置的適用范圍均被限定，因此在基板的厚度方面以及在重量方面存在通用性問題。

例如，以往例1中，引導部件以從上方覆蓋在搬送帶中寬度方向外側端部的方式設置，存在在該引導部件的下表面和搬送帶之間形成朝向基板側開放的間隙的情況。因此，如果搬送比較薄的基板(權且稱為薄基板)，有可能產生薄基板進入上述間隙而該基板被咬住的情形。因此，以往例1所能夠搬送的基板被限制于比上述間隙足夠厚的基板(權且稱為厚基板)。

另外，以往例2中，由于以搬送帶的寬度方向整體來支撐基板的下表面，因此基板中由搬送帶支撐的允許寬度(支撐寬度)受到影響。即，搬送帶的寬度須要設定在所述支撐寬度以下，如果基板上安裝了元件，則該元件安裝面上的支撐寬度變得非常狹窄。此情況下，搬送帶的剖面積小，難以確保足夠的帶強度。因此，如果搬送比較重的基板，則搬送帶會延展，從而難以進行準確的基板搬送。此外，還存在帶破裂的可能性。因此，以往例2所能夠搬送的基板被限制于比較輕的基板。

此外，以往例3中，引導基板的引導部以與搬送部相連的狀態向上方突出設置。通常，搬送帶以具有撓性的材料形成，因此每當引導部在寬度方向上引導基板時會受到來自基板的橫向負荷作用。基于橫向負荷如此反復作用于引導部，引導部與搬送部相連的部分亦即所謂的根部分會被反復施加剪切力。因此，有可能在引導部的根部分處產生龜裂或產生引導部破裂等不良情況，從而難以進行穩定的基板搬送。

發明內容

本發明的目的在于提供一種在基板搬送方面具有優異的搬送穩定性并且在基板的厚度及重量方面具有較高的通用性的基板搬送裝置、裝備了該基板搬送裝置的基板作業裝置以及適于該基板搬送裝置的搬送帶。