[發明專利]OLED面板減薄裝置、減薄系統及減薄方法有效
| 申請號: | 201310439051.X | 申請日: | 2013-09-24 |
| 公開(公告)號: | CN103456766A | 公開(公告)日: | 2013-12-18 |
| 發明(設計)人: | 向欣;任海;黃俊;敬啟毓;唐元剛;何江 | 申請(專利權)人: | 四川虹視顯示技術有限公司 |
| 主分類號: | H01L27/32 | 分類號: | H01L27/32;H01L21/67 |
| 代理公司: | 成都宏順專利代理事務所(普通合伙) 51227 | 代理人: | 周永宏 |
| 地址: | 611731 四川省成*** | 國省代碼: | 四川;51 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | oled 面板 裝置 系統 方法 | ||
技術領域
本發明屬于OLED顯示技術領域,具體涉及一種OLED面板減薄裝置、減薄系統及減薄方法。
背景技術
平板顯示技術的不斷發展要求OLED顯示屏更輕更薄。受到制造工藝的限制,OLED基板玻璃的厚度已經無法做到更薄,因此,目前的減薄技術一般是待OLED面板完成封裝后再進行刻蝕減薄。常用的刻蝕減薄技術主要分為浸泡式減薄和噴淋式減薄,浸泡式減薄是指將多張完成封裝的OLED面板同時置于刻蝕液中浸泡一定時間達到減薄的方法,其不足在于OLED面板的刻蝕物易造成刻蝕液的污染,被污染的刻蝕液會降低后面刻蝕的OLED面板的減薄品質;噴淋式減薄是指采用均勻流動的刻蝕液對OLED面板進行減薄,這種方法克服了因刻蝕液污染造成的減薄質量下降,但是該方法中受噴頭位置和OLED面板尺寸的影響,被刻蝕的OLED面板易產生凹點且面板很難達到厚度均勻的效果。此外,浸泡式減薄和噴淋式減薄均只適用于小尺寸OLED面板的減薄,當OLED面板推進到大尺寸后,這兩種技術方案較難與前后工藝進行銜接且較難實現自動化。
發明內容
本發明的目的在于克服現有技術中的上述問題,提供一種適用于大尺寸OLED面板且自動化程度高的減薄裝置及減薄系統。
為解決上述技術問題,本發明采用以下技術方案:
一種OLED面板減薄裝置,包括旋轉機架、流體導管及旋轉機架腔,旋轉機架固定安裝于旋轉機架腔內,流體導管的端口位于旋轉機架中心位置的正上方。
進一步地,所述旋轉機架包括底座和固定連接在底座上、兩兩夾角相等的四條支撐臂。
進一步地,所述OLED面板減薄裝置還包括護蓋,所述護蓋與旋轉機架腔鉸接,所述液體導管固定在護蓋的下表面上。
進一步地,所述OLED面板減薄裝置還包括均勻分布于護蓋上的熱風噴口。
進一步地,所述護蓋的開啟與閉合由旋轉氣缸控制。
進一步地,所述旋轉機架腔的底部設置有排液口。
進一步地,所述旋轉機架由變頻電機驅動。
進一步地,一種基于所述OLED面板減薄裝置的OLED面板減薄方法,包括以下步驟:
S1:將OLED面板放置于OLED面板減薄裝置旋轉機架的四條支撐臂上;
S2:閉合護蓋并打開排液口;
S3:開啟變頻電機,進行OLED面板的減薄,具體包括以下兩個階段:
第一階段:清洗OLED面板,主要包括以下步驟:31)旋轉機架在變頻電機驅動下開始加速旋轉,進入預設中速狀態后保持勻速;32)開啟去離子水進行面板清洗,清洗設定時間后關閉去離子水;33)調節變頻電機使旋轉機架進入預設勻速高速旋轉狀態,通過高速旋轉的方式甩干殘留在OLED面板表面的去離子水;第二階段:刻蝕OLED面板,主要包括以下步驟:34)根據工藝要求,調節變頻電機使旋轉機架進入預設低速狀態;35)開啟刻蝕液,在低速狀態下使刻蝕液從OLED面板中心向外均勻擴散,達到工藝設定時間后,關閉刻蝕液;36)調節變頻電機使旋轉機架進入預設中速刻蝕甩干階段甩干殘留在OLED面板表面的刻蝕液;37)打開位于護蓋上的熱風噴口對刻蝕后的OLED面板進行吹干,與此同時,旋轉機架的轉速逐步下降至零;
S4:開啟護蓋,取出完成減薄的OLED面板。
進一步地,一種基于所述OLED面板減薄裝置的OLED減薄系統,包括若干臺并行排列的OLED面板減薄裝置、無人搬運車(Automated?Guided?Vehicle,AGV)、關節機器人、關節機器人軌道和用于放置OLED面板的卡匣,其中,并行排列的OLED面板減薄裝置、AGV和機器人軌道平行排列且機器人軌道位于并行排列的OLED面板減薄裝置和AGV之間,關節機器人位于關節機器人軌道上并沿關節機器人軌道運動,卡匣放置于AGV上。
進一步地,所述關節機器人的末端為帶有真空吸附盤的叉臂。
進一步地,一種基于所述OLED面板減薄系統的OLED面板減薄方法,包括以下步驟:
S1:在每個卡匣內放置若干張OLED面板,將裝有OLED面板的卡匣放置于無人搬運車上備用;
S2:位于第一個OLED面板減薄裝置相應位置的關節機器人通過末端設置的帶有真空吸附盤的叉臂從位于無人搬運車上的卡匣中抓取一張OLED面板并將該OLED面板放置于第一個OLED面板減薄裝置中進行減?。?/p>
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L27-00 由在一個共用襯底內或其上形成的多個半導體或其他固態組件組成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共絕緣襯底上形成的無源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有專門適用于整流、振蕩、放大或切換的半導體組件并且至少有一個電位躍變勢壘或者表面勢壘的;包括至少有一個躍變勢壘或者表面勢壘的無源集成電路單元的
H01L27-14 . 包括有對紅外輻射、光、較短波長的電磁輻射或者微粒子輻射并且專門適用于把這樣的輻射能轉換為電能的,或適用于通過這樣的輻射控制電能的半導體組件的
H01L27-15 .包括專門適用于光發射并且包括至少有一個電位躍變勢壘或者表面勢壘的半導體組件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料結點的熱電元件的;包括有熱磁組件的





