[發(fā)明專利]研磨方法及研磨裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201310438899.0
• 申請日: 2013-09-24
• 公開（公告）號: CN103659575A
• 公開（公告）日: 2014-03-26
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 本島靖之;丸山徹
• 申請（專利權(quán)）人: 株式會(huì)社荏原制作所
• 主分類號: B24B37/10
• 分類號: B24B37/10;B24B37/015;B24B37/013
• 代理公司: 北京市金杜律師事務(wù)所 11256
• 代理人: 陳偉

1.一種研磨方法，通過使襯底和研磨墊相對移動(dòng)來研磨所述襯底，其特征在于，

測定所述研磨墊的彈性模量，

根據(jù)所述彈性模量的測定值來調(diào)整所述襯底的研磨條件。

2.如權(quán)利要求1所述的研磨方法，其特征在于，

所述研磨條件為配置在所述襯底周圍的扣環(huán)對所述研磨墊的壓力。

3.如權(quán)利要求2所述的研磨方法，其特征在于，

根據(jù)所述彈性模量的測定值和研磨條件數(shù)據(jù)來調(diào)整所述扣環(huán)的壓力，其中，所述研磨條件數(shù)據(jù)表示所述彈性模量與所述扣環(huán)的壓力的關(guān)系。

4.如權(quán)利要求3所述的研磨方法，其特征在于，

所述研磨條件數(shù)據(jù)預(yù)先通過如下方式得到：在改變所述彈性模量及扣環(huán)壓力的值的組合的同時(shí)對多個(gè)樣品襯底進(jìn)行研磨，測定研磨后的所述多個(gè)樣品襯底的塌邊量，按彈性模量將所述扣環(huán)壓力和所述塌邊量關(guān)聯(lián)起來，并按彈性模量確定使所述塌邊量為最小的扣環(huán)壓力。

5.如權(quán)利要求1所述的研磨方法，其特征在于，

所述研磨條件為所述研磨墊的溫度。

6.如權(quán)利要求5所述的研磨方法，其特征在于，

調(diào)整所述研磨墊的溫度以使得所述彈性模量成為規(guī)定目標(biāo)值。

7.如權(quán)利要求5所述的研磨方法，其特征在于，

通過使溫度調(diào)整用的介質(zhì)與所述研磨墊接觸來調(diào)整所述研磨墊的溫度。

8.如權(quán)利要求7所述的研磨方法，其特征在于，

所述溫度調(diào)整用的介質(zhì)分別與所述研磨墊上的多個(gè)區(qū)域接觸。

9.如權(quán)利要求8所述的研磨方法，其特征在于，

所述多個(gè)區(qū)域中的至少一個(gè)區(qū)域?yàn)榕c所述襯底的周緣部接觸的區(qū)域。

10.如權(quán)利要求1所述的研磨方法，其特征在于，

在所述襯底的研磨中測定所述研磨墊的彈性模量。

11.如權(quán)利要求10所述的研磨方法，其特征在于，

在所述研磨墊的行進(jìn)方向上、且在所述襯底的上游側(cè)的區(qū)域測定所述研磨墊的彈性模量。

12.如權(quán)利要求1所述的研磨方法，其特征在于，

在研磨所述襯底前測定所述研磨墊的彈性模量。

13.如權(quán)利要求1所述的研磨方法，其特征在于，

對所述研磨墊的表面施加力而使該研磨墊變形，

測定所述研磨墊的變形量，

將所述力除以所述研磨墊的變形量，由此，確定所述研磨墊的彈性模量。

14.一種研磨裝置，通過使襯底和研磨墊相對移動(dòng)來研磨所述襯底，其特征在于，具有：

測定所述研磨墊的彈性模量的彈性模量測定器；和

根據(jù)所述彈性模量的測定值來調(diào)整所述襯底的研磨條件的研磨條件調(diào)整部。

15.如權(quán)利要求14所述的研磨裝置，其特征在于，

所述研磨條件為配置在所述襯底周圍的扣環(huán)對所述研磨墊的壓力，

所述研磨條件調(diào)整部構(gòu)成為，根據(jù)所述彈性模量的測定值來調(diào)整所述扣環(huán)的壓力。

16.如權(quán)利要求15所述的研磨裝置，其特征在于，

所述研磨條件調(diào)整部根據(jù)所述彈性模量的測定值和研磨條件數(shù)據(jù)來調(diào)整所述扣環(huán)的壓力，其中，所述研磨條件數(shù)據(jù)表示所述彈性模量與所述扣環(huán)的壓力的關(guān)系。

17.如權(quán)利要求16所述的研磨裝置，其特征在于，

所述研磨條件數(shù)據(jù)預(yù)先通過如下方式得到：在改變所述彈性模量及扣環(huán)壓力的值的組合的同時(shí)對多個(gè)樣品襯底進(jìn)行研磨，測定研磨后的所述多個(gè)樣品襯底的塌邊量，按彈性模量將所述扣環(huán)壓力和所述塌邊量關(guān)聯(lián)起來，并按彈性模量確定使所述塌邊量為最小的扣環(huán)壓力。

18.如權(quán)利要求14所述的研磨裝置，其特征在于，

所述研磨條件為所述研磨墊的溫度，

所述研磨條件調(diào)整部構(gòu)成為，根據(jù)所述彈性模量的測定值來調(diào)整所述研磨墊的溫度。

19.如權(quán)利要求18所述的研磨裝置，其特征在于，

還具有使溫度調(diào)整用的介質(zhì)與所述研磨墊接觸的介質(zhì)接觸機(jī)構(gòu)，

所述研磨條件調(diào)整部經(jīng)由所述介質(zhì)接觸機(jī)構(gòu)來調(diào)整所述研磨墊的溫度。

20.如權(quán)利要求14所述的研磨裝置，其特征在于，

所述彈性模量測定器對所述研磨墊的表面施加力而使該研磨墊變形，測定所述研磨墊的變形量，將所述力除以所述研磨墊的變形量，由此確定所述研磨墊的彈性模量。