[發(fā)明專(zhuān)利]極紫外光刻光源中光學(xué)收集鏡直接車(chē)削加工精加工方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201310435460.2
• 申請(qǐng)日: 2013-09-23
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN103433507A
• 公開(kāi)（公告）日: 2013-12-11
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 徐強(qiáng);趙永蓬;王騏
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 哈爾濱工業(yè)大學(xué)
• 主分類(lèi)號(hào): B23B5/00
• 分類(lèi)號(hào): B23B5/00;B23B1/00;B23P15/00
• 代理公司: 哈爾濱市松花江專(zhuān)利商標(biāo)事務(wù)所 23109
• 代理人: 高媛

1.一種極紫外光刻光源中光學(xué)收集鏡直接車(chē)削加工精加工方法，其特征在于：所述方法包括下述步驟：

第一步：裝卡收集鏡筒坯（1）；首先裝卡好經(jīng)粗車(chē)加工后的收集鏡筒坯（1），收集鏡筒坯（1）的面型由雙曲面和橢球面構(gòu)成，校正收集鏡筒坯（1），保證跳動(dòng)值在0.1～0.5mm范圍內(nèi)；

第二步：精車(chē)加工中的粗車(chē)加工；利用精加工車(chē)床對(duì)收集鏡筒坯（1）進(jìn)行精車(chē)加工中的粗車(chē)加工，每次進(jìn)刀0.04～0.06mm，加工次數(shù)為3～4次；

第三步：半精車(chē)加工；利用精加工車(chē)床（2）對(duì)第二步中的粗車(chē)加工后的收集鏡筒坯（1）進(jìn)行半精車(chē)加工，精加工車(chē)床主軸轉(zhuǎn)速為480～520r/min，共進(jìn)兩刀，第一刀每次進(jìn)刀7～9μm，進(jìn)刀速度為18～22mm/min；第二刀每次進(jìn)刀4～6μm，進(jìn)刀速度為18～22mm/min；

第四步：精車(chē)加工；利用精加工車(chē)床（2）對(duì)經(jīng)第三步完成的半精車(chē)加工的收集鏡筒坯（1）進(jìn)行精車(chē)加工，進(jìn)刀1～3μm，進(jìn)刀速度為1～3mm/min；

第五步：鍍膜處理；對(duì)第四步精車(chē)加工后的收集鏡筒坯（1）進(jìn)行鍍膜處理，鍍膜厚度為50μm；

第六步：手工拋光處理；對(duì)經(jīng)鍍膜處理后的收集鏡筒坯（1）面型手工拋光處理，使得收集鏡筒坯（1）的面型符合收集鏡面型，從而完成收集鏡的制作。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述極紫外光刻光源中光學(xué)收集鏡直接車(chē)削加工精加工方法，其特征在于：第一步中的收集鏡筒坯（1）的粗車(chē)加工是這樣實(shí)現(xiàn)的：首先將鋁合金坯料利用普通數(shù)控車(chē)床粗車(chē)成筒形工件，筒形工件的壁厚為6.5mm，再由普通數(shù)控車(chē)床按收集鏡面型車(chē)削并留出精車(chē)所需余量，余量為0.5～1mm，之后經(jīng)7-8次尺寸穩(wěn)定化處理后制成收集鏡筒坯（1）。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述極紫外光刻光源中光學(xué)收集鏡直接車(chē)削加工精加工方法，其特征在于：第四步中，在精車(chē)前，在經(jīng)第三步完成的半精車(chē)加工的收集鏡筒坯（1）的外表面套裝尼龍?zhí)祝?），并通過(guò)真空膠泥（4）將尼龍?zhí)祝?）粘貼在所述收集鏡筒坯（1）的外表面上。

4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述極紫外光刻光源中光學(xué)收集鏡直接車(chē)削加工精加工方法，其特征在于：步驟二至步驟四中的精加工車(chē)床（2）安裝有兩個(gè)并列設(shè)置的刀架（5），每個(gè)刀架（5）上安裝有一把金剛石車(chē)刀（8），其中一把金剛石車(chē)刀（8）用于完成第二步中收集鏡筒坯（1）精車(chē)加工中的粗車(chē)加工以及第三步中的半精車(chē)加工，余下一把金剛石車(chē)刀（8）用于完成第四步中的精車(chē)加工。

5.根據(jù)權(quán)利要求2所述極紫外光刻光源中光學(xué)收集鏡直接車(chē)削加工精加工方法，其特征在于：每一次尺寸穩(wěn)定化處理的工藝步驟是先對(duì)收集鏡筒坯（1）進(jìn)行冷處理，冷處理結(jié)束后再進(jìn)行熱處理，冷、熱處理交替進(jìn)行；所述冷處理是：將第一步中粗車(chē)加工后的收集鏡筒坯（1）放入冷卻液內(nèi)浸泡，冷卻液溫度低于5℃，浸泡時(shí)間為30～60min；所述熱處理是：將冷處理后的收集鏡筒坯（1）放入熱處理液中浸泡，熱處理液溫度為90～100℃，浸泡時(shí)間為20～40min。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述極紫外光刻光源中光學(xué)收集鏡直接車(chē)削加工精加工方法，其特征在于：所述冷卻液由水和乙醇組成，水和乙醇的體積比為1:1，所述熱處理液為60攝氏度熱水。