[發明專利]真空鍍膜室防鍍膜觀察窗

無效

• 申請號: 201310434775.5
• 申請日: 2013-09-24
• 公開（公告）號: CN103469171A
• 公開（公告）日: 2013-12-25
• 發明（設計）人: 關秉羽
• 申請（專利權）人: 遼寧北宇真空科技有限公司
• 主分類號: C23C14/52
• 分類號: C23C14/52
• 代理公司: 鐵嶺天工專利商標事務所 21105
• 代理人: 靳萬清

技術領域

本發明涉及一種真空鍍膜室的觀察窗，尤其是涉及一種真空鍍膜室防鍍膜觀察窗。

背景技術

現有技術中的真空鍍膜室的觀察窗，結構主要包括與真空鍍膜室相連通的觀察窗小脖，觀察窗小脖裝有法蘭，法蘭具有左、右兩個法蘭盤，左、右兩個法蘭盤的內側壁形成有腔室，腔室內裝有擋板，法蘭的下部裝有圓形石英玻璃觀察窗，上述結構的真空鍍膜室的觀察窗，在觀察鍍膜室內部工況時需要先把擋板打開，觀察完后再把擋板關上，在把擋板打開觀察鍍膜室內部工況時膜會鍍到觀察窗的石英玻璃上，鍍幾爐鍍就需要更換觀察窗的石英玻璃，這樣不僅浪費了石英玻璃，也增加了工人的勞動強度、降低了生產效率。

發明內容

本發明要解決的技術問題是提供一種在觀察鍍膜室內部工況時膜不會鍍到觀察窗石英玻璃上的真空鍍膜室防鍍膜觀察窗。

為解決上述技術問題，本發明真空鍍膜室防鍍膜觀察窗，包括與真空鍍膜室相連通的觀察窗小脖，觀察窗小脖裝有法蘭，法蘭具有左、右兩個法蘭盤，左、右兩個法蘭盤的內側壁形成有腔室，腔室內裝有擋板，法蘭的下部裝有圓形石英玻璃觀察窗，所述擋板為圓形薄板，相應地所述腔室為圓形腔室，所述擋板沿徑向開有兩條對稱條形狹縫，擋板的中心位置裝有轉軸，轉軸連有驅動電機，所述狹縫的長度與所述石英玻璃觀察窗的徑向尺寸相當，當所述擋板旋轉至某一角度時，所述狹縫剛好位于石英玻璃觀察窗內。

采用上述結構的真空鍍膜室防鍍膜觀察窗，在觀察鍍膜室內部工況時，由于擋板只在沿徑向開有兩條對稱條形狹縫，當電機帶動擋板高速旋轉時，擋板會把膜擋在鍍膜室內，石英玻璃不會被鍍上膜，又因為人的肉眼分辨率低，從而可以通過觀察窗的石英玻璃看到鍍膜室內部的底膜情況，因此本發明在觀察鍍膜室內部工況時無需因為石英玻璃被鍍上膜而更換觀察窗的石英玻璃，節省了石英玻璃，也減輕了工人的勞動強度、提高了生產效率。

附圖說明

下面結合附圖對本發明作進一步地詳細說明。

圖1是本發明真空鍍膜室防鍍膜觀察窗的剖視結構示意圖。

圖2是本發明真空鍍膜室防鍍膜觀察窗的擋板的主視結構示意圖。

圖3是圖2的側視結構示意圖。

具體實施方式

?參見圖1－圖3，本發明真空鍍膜室防鍍膜觀察窗，包括與真空鍍膜室相連通的觀察窗小脖1，觀察窗小脖1裝有法蘭2，法蘭2具有左、右兩個法蘭盤3、4，左、右兩個法蘭盤3、4的內側壁形成有腔室5，腔室5內裝有擋板6，法蘭2的下部裝有圓形石英玻璃觀察窗7，所述擋板6為圓形薄板，相應地所述腔室5為圓形腔室，所述擋板6沿徑向開有兩條對稱條形狹縫8，擋板6的中心位置裝有轉軸9，轉軸9連有驅動電機10，所述狹縫8的長度與所述石英玻璃觀察窗7的徑向尺寸相當，當所述擋板6旋轉至某一角度時，所述狹縫剛好位于石英玻璃觀察窗7內。