[發(fā)明專利]液體噴墨頭的制造方法、液體噴墨頭和打印設(shè)備

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201310432859.5
• 申請日: 2013-09-22
• 公開（公告）號: CN104441995A
• 公開（公告）日: 2015-03-25
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 李越
• 申請（專利權(quán)）人: 珠海納思達(dá)企業(yè)管理有限公司
• 主分類號: B41J2/16
• 分類號: B41J2/16
• 代理公司: 北京同立鈞成知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11205
• 代理人: 畢強(qiáng)

1.一種液體噴墨頭的制造方法，其特征在于，包括：

在基底上形成壓力發(fā)生部件；

在所述基底的第一表面上涂覆樹脂膠，形成第一膠層；

對所述第一膠層中的第一區(qū)域進(jìn)行灰度曝光處理，形成梯形狀的公共腔室，所述梯形狀的公共腔室中靠近所述基底的表面面積小于遠(yuǎn)離所述基底的表面面積；

對所述第一膠層中的第二區(qū)域進(jìn)行曝光處理，形成壓力腔室；

在所述壓力腔室和梯形狀的公共腔室遠(yuǎn)離所述基底的表面上形成噴孔板；

在所述基底中與所述第一表面相對的第二表面上與所述公共腔室對應(yīng)的位置處形成通透的供墨孔。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的液體噴墨頭的制造方法，其特征在于，所述樹脂膠為正性光敏樹脂；

所述對所述第一膠層中的第一區(qū)域進(jìn)行灰度曝光處理，形成梯形狀的公共腔室，包括：

采用第一掩膜對所述第一區(qū)域進(jìn)行曝光處理，所述第一掩膜為灰度掩膜，所述第一掩膜的透光率從中間至兩側(cè)逐漸減小，以使所述第一區(qū)域中受光照的部分發(fā)生變性；

采用第一顯影液對所述第一膠層進(jìn)行顯影處理，去除受光照變性的部分，形成梯形狀的公共腔室。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的液體噴墨頭的制造方法，其特征在于，所述對所述第一膠層中的第二區(qū)域進(jìn)行曝光處理，形成壓力腔室，包括:

采用第二掩膜對所述第二區(qū)域進(jìn)行曝光處理，所述第二掩膜為普通掩膜，所述第二掩膜的中間完全透光，兩側(cè)不透光，以使所述第一區(qū)域中受光照的部分發(fā)生變性；

采用第一顯影液對所述第一膠層進(jìn)行顯影處理，去除受光照變性的部分，形成壓力腔室。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的液體噴墨頭的制造方法，其特征在于，所述在基底上形成壓力發(fā)生部件，包括：

在所述基底的第一表面上蝕刻形成凹槽；

在所述凹槽內(nèi)形成壓電元件，包括采用濺射法依次形成下電極層、壓電體層和上電極層；

在所述上電極層的表面沉積形成振動板。

5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的液體噴墨頭的制造方法，其特征在于，所述在基底上形成壓力發(fā)生部件，包括：

在所述基底的第一表面上沉積形成振動板；

在所述振動板中遠(yuǎn)離所述基底的表面上形成壓電元件，包括采用濺射法形成下電極層，溶膠凝膠法形成壓電體層，濺射法形成上電極層，以使所述壓力發(fā)生部件位于所述壓力腔室內(nèi)。

6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的液體噴墨頭的制造方法，其特征在于，所述在基底上形成壓力發(fā)生部件，包括：

在所述基底的第一表面上沉積形成薄膜電阻層。

7.根據(jù)權(quán)利要求3所述的液體噴墨頭的制造方法，其特征在于，所述在所述壓力腔室和梯形狀的公共腔室遠(yuǎn)離所述基底的表面上形成噴孔板，包括：

在所述壓力腔室和梯形狀的公共腔室遠(yuǎn)離所述基底的表面上涂覆負(fù)性光敏樹脂，形成第二膠層；

采用第三掩膜對所述第二膠層進(jìn)行曝光處理，以使噴孔壁固化，所述第三掩膜為灰度掩膜，所述第三掩膜的透光率從中間至兩側(cè)逐漸增大；

采用第二顯影液對所述第二膠層進(jìn)行顯影處理，以去除所述第二膠層中未固化的部分，形成噴孔。

8.根據(jù)權(quán)利要求4所述的液體噴墨頭的制造方法，其特征在于，還包括：

在所述基底的第二表面上與所述壓力腔室對應(yīng)的位置處形成壓電元件振動空間，以提供所述壓電元件振動變形所需的空間。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的液體噴墨頭的制造方法，其特征在于，還包括：

在所述壓電元件兩側(cè)蝕刻形成縫隙，以提供所述壓電元件振動變形所需的空間。

10.根據(jù)權(quán)利要求2-9任一項所述的液體噴墨頭的制造方法，其特征在于，所述正性光敏樹脂為聚甲基丙烯酸甲酯PMMA。

11.一種液體噴墨頭，其特征在于，所述液體噴墨頭采用權(quán)利要求1-10任一項所述的液體噴墨頭的制造方法制成。

12.一種打印設(shè)備，其特征在于，包括權(quán)利要求11所述的液體噴墨頭。