[發明專利]對準裝置及對準方法

有效

• 申請號: 201310432580.7
• 申請日: 2013-09-22
• 公開（公告）號: CN104465472B
• 公開（公告）日: 2020-05-19
• 發明（設計）人: 王堅;金一諾;王暉
• 申請（專利權）人: 盛美半導體設備(上海)股份有限公司
• 主分類號: H01L21/68
• 分類號: H01L21/68
• 代理公司: 上海專利商標事務所有限公司 31100
• 代理人: 陸嘉

1.一種對準裝置，包括夾具和承載臺，其特征在于，還包括：固定安裝在夾具上的傳感器、固定安裝在承載臺上的被感測體、及驅動夾具旋轉和移動的驅動裝置；

其中，通過所述傳感器是否能夠檢測到所述被感測體，判斷所述夾具的中心與所述承載臺的中心是否對準；

所述被感測體為圓環形，且被感測體的圓心與承載臺的圓心一致，傳感器固定安裝在夾具上，傳感器距離夾具圓心的距離與被感測體的半徑相同。

2.一種夾具與承載臺對準方法，其特征在于，包括：移動夾具，以使夾具上的傳感器能夠檢測到承載臺上的被感測體，如果傳感器檢測到被感測體，則夾具的中心與承載臺的中心對準；

其中還進一步包括如下步驟：

步驟一：將夾具移至承載臺的上方，使夾具與承載臺大致對準，以夾具的圓心為原點，建立極坐標系，夾具圓心C1的坐標為C1(0,0)；

步驟二：設定夾具的旋轉速度為V，記錄夾具旋轉一周所需的時間為T；

步驟三：以設定的旋轉速度V旋轉夾具，傳感器的運動軌跡為一個圓，該圓的圓心與夾具的圓心一致，該圓與被感測體有兩個交點P1和P2，根據夾具旋轉一周的時間T，得出P1的坐標P1(R，θ1)及P2的坐標P2(R，θ2)；

步驟四：分別以P1點和P2點為圓心，傳感器與夾具圓心的距離為半徑作圓，兩個圓相交產生兩個交點，其中一個交點為夾具的圓心C1，另一個交點為被感測體的圓心，也就是承載臺的圓心C2，計算出承載臺圓心C2的坐標C2(r,θc2)；

步驟五：根據計算出的承載臺圓心C2的坐標C2(r,θc2)，移動夾具，以使夾具的圓心與承載臺的圓心重合，即夾具與承載臺對準，其中，r 為夾具移動的距離，θc2為夾具移動的角度。

3.根據權利要求2所述的夾具與承載臺對準方法，其特征在于，還進一步包括如下步驟：再次旋轉夾具一周，校驗夾具與承載臺是否對準，如果在夾具旋轉的一周內，傳感器一直能夠檢測到被感測體，則夾具與承載臺對準，反之，重復權利要求2 所述的步驟一至步驟三。

4.根據權利要求2所述的夾具與承載臺對準方法，其特征在于，所述被感測體為圓環形，且被感測體的圓心與承載臺的圓心一致，傳感器距離夾具圓心的距離與被感測體的半徑相同。

5.根據權利要求2所述的夾具與承載臺對準方法，其特征在于，所述承載臺圓心C2的坐標C2(r,θc2)的計算公式為：

r＝2Rcos[π-(θ2-θ1)/2]

θc2＝(θ2+θ1)/2-π。