[發(fā)明專利]一種抗大氣沖擊的分子泵

無效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201310426284.6
• 申請(qǐng)日: 2013-09-18
• 公開（公告）號(hào): CN103452872A
• 公開（公告）日: 2013-12-18
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 董欣;郁晉軍;劉敏強(qiáng);于天化
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 北京北儀創(chuàng)新真空技術(shù)有限責(zé)任公司
• 主分類號(hào): F04D25/06
• 分類號(hào): F04D25/06;F04D29/26;F04D29/40;F04D29/063
• 代理公司: 北京鑫浩聯(lián)德專利代理事務(wù)所(普通合伙) 11380
• 代理人: 呂愛萍

1.一種抗大氣沖擊的分子泵，包括底盤、安裝在底盤上的電機(jī)、連接在電機(jī)主軸上的轉(zhuǎn)子和固定扣裝在轉(zhuǎn)子與底盤上的泵殼，其特征在于：所述底盤的中部軸向有一個(gè)圓柱形通孔，圓柱形通孔外圍設(shè)有一個(gè)環(huán)形槽，底盤外側(cè)面靠近底部位置設(shè)有一個(gè)排氣口，排氣口與環(huán)形槽連通；所述電機(jī)為嵌入安裝在底盤上的圓柱形通孔內(nèi)，電機(jī)主軸向上延伸到底盤頂部外側(cè)；所述的轉(zhuǎn)子為圓柱形，其外表面從頂部至底部均勻開有4～8條螺旋形排氣槽，排氣槽從起始端開始沿軸向延伸，深度逐漸由深變淺，寬度逐漸由寬變窄，直至轉(zhuǎn)子外表面底端，轉(zhuǎn)子內(nèi)部居中部位設(shè)有一個(gè)安裝層，安裝層中心位置開有一個(gè)通孔，安裝層的上下兩側(cè)各有一個(gè)中空腔體，所述泵殼為圓柱形結(jié)構(gòu)，其底部開放，內(nèi)為圓柱形腔體，頂部設(shè)有進(jìn)氣口。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種抗大氣沖擊的分子泵，其特征在于：所述的轉(zhuǎn)子由圓柱形硬質(zhì)鋁合金材料整體加工成型。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的一種抗大氣沖擊的分子泵，其特征在于：所述排氣槽的起始端深度為30～60mm，尾端深度為2～5mm，中間深度梯度遞減。

4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的一種抗大氣沖擊的分子泵，其特征在于：所述相鄰兩個(gè)排氣槽形成的筋部的橫截面外輪廓為近似梯形的曲面，所述橫截面的高度隨排氣槽深度的遞減而逐漸遞減。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種抗大氣沖擊的分子泵，其特征在于：所述的轉(zhuǎn)子能伸入到底盤上的環(huán)形槽內(nèi)，轉(zhuǎn)子外部排氣槽構(gòu)成的筋部與環(huán)形槽存在間隙配合，配合間隙為0.2～0.6mm；底盤環(huán)形槽內(nèi)靠近中心的一側(cè)套裝有螺旋封，轉(zhuǎn)子安裝層下側(cè)腔體內(nèi)壁與螺旋封存在間隙配合，其配合間隙為0.3～0.6mm；泵殼扣裝在轉(zhuǎn)子上，其腔體內(nèi)壁與轉(zhuǎn)子外部排氣槽構(gòu)成的筋部存在間隙配合，配合間隙為0.3～0.7mm。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種抗大氣沖擊的分子泵，其特征在于：所述的轉(zhuǎn)子內(nèi)部安裝層中心通孔為錐形。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種抗大氣沖擊的分子泵，其特征在于：所述的底盤下部中心部位安裝有油池座，油池座內(nèi)放置有潤(rùn)滑油，電機(jī)主軸下端伸入到油池座內(nèi)。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種抗大氣沖擊的分子泵，其特征在于：所述底盤上的排氣口外側(cè)裝有排氣口法蘭。