[發明專利]具有對稱差分電容的微機電元件有效
| 申請號： | 201310425232.7 | 申請日： | 2013-09-17 |
| 公開（公告）號： | CN104445048A | 公開（公告）日： | 2015-03-25 |
| 發明（設計）人： | 蔡明翰 | 申請（專利權）人： | 原相科技股份有限公司 |
| 主分類號： | B81C1/00 | 分類號： | B81C1/00 |
| 代理公司： | 中原信達知識產權代理有限責任公司 11219 | 代理人： | 陳肖梅;謝麗娜 |
| 地址： | 中國臺*** | 國省代碼： | 中國臺灣;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 具有 對稱 電容 微機 元件 | ||
1.一種具有對稱差分電容的微機電元件，其特征在于，包含：
一基板；
一上相對電極；
一下相對電極；
一質量結構，具有一上電極與一下電極，分別與該上相對電極和該下相對電極形成一上電容結構與一下電容結構；
一上相對電極延伸壁，其上端連接該上相對電極，下端與該基板連接；以及
一下相對電極延伸壁，其下端經由該下相對電極連接該基板；
其中該下相對電極延伸壁的上端不與該上相對電極連接，且該上相對電極延伸壁和該上相對電極面向于該質量結構的總導電部分表面積和、與該下相對電極延伸壁和該下相對電極面向于該質量結構的總導電部分表面積和，為彼此相當。
2.如權利要求1所述的具有對稱差分電容的微機電元件，其中，該上相對電極延伸壁與該下相對電極延伸壁的面向于該質量結構的表面積為彼此相等。
3.如權利要求1所述的微機電元件，其中，該上、下相對電極延伸壁分別位于相對該質量結構的對稱位置。
4.如權利要求1所述的具有對稱差分電容的微機電元件，其中，該質量結構設置于該上下相對電極延伸壁之間，或該上下相對電極延伸壁主要設置于該質量結構的內側。
5.如權利要求1所述的具有對稱差分電容的微機電元件，其中，該微機電元件具有多個上相對電極延伸壁和多個下相對電極延伸壁。
6.如權利要求4所述的具有對稱差分電容的微機電元件，其中，該多個上相對電極延伸壁和多個下相對電極延伸壁分別位于該質量結構的至少相對兩側，且該兩側的任一側既設有上相對電極延伸壁也設有下相對電極延伸壁。
7.如權利要求1所述的具有對稱差分電容的微機電元件，其中，該上相對電極延伸壁上端具有至少一錨邊，并以該錨邊連接該上相對電極；該下相對電極延伸壁上端具有延伸至與該錨邊等高的至少一凸邊。
8.如權利要求7所述的具有對稱差分電容的微機電元件，其中，由俯視圖觀之，該微機電元件設有多個錨邊與凸邊，彼此對應設置于該質量結構相對的兩側。
9.如權利要求7所述的具有對稱差分電容的微機電元件，其中，由俯視圖觀之，該微機電元件設有多個錨邊與凸邊，設置于該質量結構相對的兩側，且位于兩側的錨邊總面積彼此相當、或位于兩側的凸邊總面積彼此相當、或錨邊與凸邊的總面積彼此相當。
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