[發明專利]一種生長方形藍寶石的方法

無效

• 申請號: 201310424424.6
• 申請日: 2013-09-17
• 公開（公告）號: CN103451729A
• 公開（公告）日: 2013-12-18
• 發明（設計）人: 張向鋒;賈寶申;陸玉龍;高培波;趙杰;江左林
• 申請（專利權）人: 無錫鼎晶光電科技有限公司
• 主分類號: C30B29/20
• 分類號: C30B29/20;C30B17/00
• 代理公司: 蘇州市中南偉業知識產權代理事務所(普通合伙) 32257
• 代理人: 李廣

1.一種生長長方形藍寶石的方法，其特征在于，包括：

步驟101、加熱方形坩堝內的原料至熔化，調節電壓，使方形坩堝內熔體表面對流形態穩定，并使冷心偏離方形坩堝幾何中心位置；

步驟102、緩慢調節籽晶位置使其逐漸接近熔體液面，同時調節電壓，避免籽晶熔融，籽晶預熱，利用傳統提拉工藝，配合旋轉，根據結晶端部的擴展速率確定每次提拉高度，同時調節溫度，控制結晶端部的尺寸，最終結晶端部覆蓋冷心并開始放肩；

步驟103、晶體放肩至預定尺寸之后，稍稍升高電壓促使放肩完成，其后持續、緩慢降溫使得晶體逐漸生長成形，至生長末端時再升高電壓以使晶體生長順利收尾；

步驟104、降低電壓直至關閉電源，晶體在單晶爐內逐漸冷卻，長晶結束；

制備方形藍寶石晶體的技術要點在于合理配置方形晶體的長、寬、高比例可在生長晶體前預設掏棒方案以提高方形晶體套取2、4、6英寸晶棒的利用率；方坩堝熱場的特點在于其可采用正方或一定程度之內的長方作為坩堝平面外形，其鎢籠加熱體以同樣的長、寬比包圍在坩堝外圍。

2.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述步驟101中，所述冷心與偏離方形坩堝幾何中心位置小于20mm。

3.根據權利要求1或2所述的方法，所述步驟102中，籽晶預熱為在籽晶其下端與熔體液面2~10mm處預熱10～60?min，消除應力。

4.根據權利要求3所述的方法，其特征在于，所述步驟102中，利用傳統提拉工藝，配合旋轉的轉速率為0.2~15rpm。

5.根據權利要求4所述的方法，其特征在于，所述步驟104中，晶體在單晶爐內逐漸冷卻至200-300℃。