[發(fā)明專利]基于多狹縫陣列的超分辨光譜儀

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201310424250.3
• 申請(qǐng)日: 2013-09-17
• 公開（公告）號(hào): CN103471717A
• 公開（公告）日: 2013-12-25
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 郝鵬;吳一輝;遲明波;劉永順
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中國科學(xué)院長春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所
• 主分類號(hào): G01J3/36
• 分類號(hào): G01J3/36;G01J3/04
• 代理公司: 長春菁華專利商標(biāo)代理事務(wù)所 22210
• 代理人: 王丹陽

1.基于多狹縫陣列的超分辨光譜儀，其特征在于，由入射狹縫（1）、準(zhǔn)直鏡（2）、光柵（3）、聚焦鏡（4）、光電探測(cè)器（5）和與所述光電探測(cè)器（5）相連的計(jì)算機(jī)（6）組成；所述入射狹縫（1）為N階陣列狹縫，所述入射狹縫（1）對(duì)入射光線進(jìn)行空間濾波，使入射光線寬度按照光學(xué)系統(tǒng)要求的寬度入射到準(zhǔn)直鏡（2）上，光線依次經(jīng)過準(zhǔn)直鏡（2）準(zhǔn)直、光柵（3）分光、聚焦鏡（4）聚焦后成像在光電探測(cè)器（5）上，在垂直于光譜維方向上獲得N幅具有亞像元位移的低分辨率光譜圖，計(jì)算機(jī)（6）對(duì)光電探測(cè)器（5）采集的光譜圖信息進(jìn)行信息融合，利用遞推算法求取亞像元值從而構(gòu)建出一幅高分辨率的光譜圖，其中，所述N為正整數(shù)且N≥2。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于多狹縫陣列的超分辨光譜儀，其特征在于，所述入射狹縫（1）采用半導(dǎo)體硅材料或玻璃材料通過微機(jī)械工藝制作而成。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于多狹縫陣列的超分辨光譜儀，其特征在于，所述光電探測(cè)器（5）采用面陣CCD、CMOS面陣成像探測(cè)器或InGaAs面陣成像探測(cè)器。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于多狹縫陣列的超分辨光譜儀，其特征在于，所述光電探測(cè)器（5）上垂直于光譜維方向上的陣列數(shù)為N的整數(shù)倍，N為正整數(shù)且N≥2。