[發(fā)明專利]具有納米級分辨率的超精密定位工作臺無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201310423958.7 | 申請日： | 2013-09-17 |
| 公開（公告）號： | CN104440141A | 公開（公告）日： | 2015-03-25 |
| 發(fā)明（設計）人： | 李志剛 | 申請（專利權）人： | 李志剛 |
| 主分類號： | B23Q1/34 | 分類號： | B23Q1/34 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 110179 遼寧省沈陽市*** | 國省代碼： | 遼寧;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 具有 納米 分辨率 精密 定位 工作臺 | ||
【權利要求書】：
1.具有納米級分辨率的超精密定位工作臺，本發(fā)明主體由柔性鉸鏈工作臺和壓電陶瓷微位移器組成，其結構要點是：采用雙頻激光干涉儀SJD5檢測，由計算機和相位計共同組成閉環(huán)控制系統(tǒng)；通過計算機給出數(shù)字信號，經(jīng)D/A轉(zhuǎn)換并放大，產(chǎn)生0～1000V、步長為1V的可變電壓，驅(qū)動壓電陶瓷伸縮，然后再由壓電陶瓷帶動柔性鉸鏈工作臺作微位移。
2.根據(jù)權利要求1所述的具有納米級分辨率的超精密定位工作臺，其特征在于控制部分采用PC機控制。
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