[發(fā)明專利]透射電鏡用原位雙軸傾轉(zhuǎn)納米壓痕儀有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201310423165.5 | 申請日： | 2013-09-17 |
| 公開（公告）號： | CN103645199A | 公開（公告）日： | 2014-03-19 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 韓曉東;岳永海;張澤 | 申請（專利權(quán)）人： | 北京工業(yè)大學(xué) |
| 主分類號： | G01N23/04 | 分類號： | G01N23/04 |
| 代理公司： | 北京思海天達(dá)知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11203 | 代理人： | 劉萍 |
| 地址： | 100124 *** | 國省代碼： | 北京;11 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 透射 電鏡用 原位 雙軸傾轉(zhuǎn) 納米 壓痕 | ||
【權(quán)利要求書】：
1.透射電鏡用原位雙軸傾轉(zhuǎn)納米壓痕儀，其特征在于：包括支撐部分、驅(qū)動部分，所述的支撐部分是金屬環(huán)，所述的驅(qū)動部分是一條由不同線膨脹系數(shù)組成的熱雙金屬片，熱雙金屬片一端固定在金屬環(huán)的上面，另一端為自由端；在自由端且熱膨脹系數(shù)低的一側(cè)固定一個懸臂梁針尖，懸臂梁針尖上的針尖背對著熱雙金屬片放置，樣品固定在樣品支撐臺的一端上，樣品支撐臺的另一端固定在金屬環(huán)上且要讓樣品正對懸臂梁針尖放置，且樣品與懸臂梁針尖之間的縫隙在2-50微米之間；熱雙金屬片和懸臂梁針尖用導(dǎo)電材料固定在一起，樣品和樣品支撐臺用導(dǎo)電材料固定在一起，熱雙金屬片、樣品支撐臺分別與金屬環(huán)絕緣固定，在熱雙金屬片、樣品支撐臺上分別焊接電極，電極與外部測試電路連接。
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