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[發明專利]高純度高密度WO3/S核殼結構納米顆粒的制備方法有效

專利信息
申請號: 201310422712.8 申請日: 2013-09-16
公開(公告)號: CN103469155A 公開(公告)日: 2013-12-25
發明(設計)人: 錢靜雯;彭志堅;符秀麗;王成彪;付志強;岳文 申請(專利權)人: 中國地質大學(北京)
主分類號: C23C14/06 分類號: C23C14/06;C30B23/00;B82Y40/00
代理公司: 暫無信息 代理人: 暫無信息
地址: 100083*** 國省代碼: 北京;11
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 純度 高密度 wo sub 結構 納米 顆粒 制備 方法
【權利要求書】:

1.高純度高密度WO3/S核殼結構納米顆粒的制備方法,其特征在于:所述核殼結構納米顆粒內核為單晶WO3,外殼為非晶單質S;所述方法通過熱蒸發WO3粉和S粉在基片上沉積WO3/S核殼結構納米顆粒,包括以下步驟:

(1)在真空管式爐中,將分別裝有WO3粉和S粉的氧化鋁陶瓷坩堝、或者裝有WO3和S混合粉的氧化鋁陶瓷坩堝放置在爐中央的加熱區域,在其氣流下游距離裝有WO3粉的坩堝20-30mm處溫度較低的區域放置基片;

(2)在加熱前,先對整個系統抽真空,然后向系統中通入高純惰性載氣,并重復多次,以排除系統中的空氣。然后以15-30℃/min速率升溫到最高加熱溫度,并保溫數小時。在加熱過程中,保持載氣流量為100-300標準立方厘米每分鐘,且整個加熱過程在惰性載氣保護下完成,最后自然降溫到室溫,即可在基片上得到高純度、高密度WO3/S核殼結構納米顆粒。

2.按照權利要求1所述的制備方法,其特征在于:所述步驟(1)中WO3粉和S粉的加熱蒸發方法為分別蒸發或混合蒸發,其中分別蒸發時WO3粉放在爐中高溫加熱區而S粉放在爐中低溫加熱區,且二者相距10-15mm;而混合蒸發時,則需將WO3粉和S粉的質量比控制在10:1到100:1之間;所述步驟(1)中的基片為硅片、砷化鎵片、藍寶石片、碳化硅單晶片,且表面平整,光潔度好;所述步驟(2)中最高加熱溫度為900-1100℃,保溫時間2-4小時。

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