[發明專利]一種極紫外光刻機光源中液滴靶空間位置的監控系統

無效

• 申請號: 201310419936.3
• 申請日: 2013-09-13
• 公開（公告）號: CN103513519A
• 公開（公告）日: 2014-01-15
• 發明（設計）人: 徐勇躍;王新兵;左都羅;盧宏;陸培祥
• 申請（專利權）人: 華中科技大學
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20;G02B27/09
• 代理公司: 華中科技大學專利中心 42201
• 代理人: 曹葆青

1.?一種極紫外光刻機光源中液滴靶空間位置的監控系統，其特征在于，它包括第一探測光源（21）、第一四象限光電探測器（22）、第二探測光源（23）、第二四象限光電探測器（24）、信號處理器（25）、信號控制器（26）和二維電位移臺（27）；

二維電位移臺（27）用于放置噴嘴（11），設液滴噴嘴（11）噴射方向為Z軸，第一探測光源（21）和第一四象限光電探測器（22）配合用于檢測X方向的偏移，第二探測光源（23）和第二四象限光電探測器（24）配合用于檢測Y方向的偏移；

第一四象限光電探測器（22）和第二四象限光電探測器（24）分別與信號處理器（25）電連接，信號處理器（25）將四象限光電探測器的輸出信號進行處理后反饋給信號控制器（26）用于對二維電位移臺（27）進行控制調節，以控制液滴噴嘴（11）位置，保證液滴沿激光脈沖的焦斑中心方向噴射。

2.根據權利要求1所述的一種極紫外光刻機光源中液滴靶空間位置的監控系統，其特征在于，

所述第一探測光源（21）發出光束的方向與液滴（12）噴射的方向垂直，第一探測光源（21）的光軸與第一四象限光電探測器（22）的光敏面垂直，其發射的光束垂直投射在第一四象限光電探測器（22）的光敏面上，使第一四象限光電探測器（22）的四個象限的輸出大小相等；?

第二探測光源（23）光束的方向與液滴（12）的噴射方向垂直，且與第二探測光源（23）光束的方向垂直，第二探測光源（23）的光軸與第二四象限光電探測器（24）的光敏面垂直，使第二四象限光電探測器（24）的四個象限輸出大小相等；第一探測光源（21）和第二探測光源（23）的光軸保持在同一個平面內。