[發明專利]13族氮化物晶體有效
| 申請號： | 201310419587.5 | 申請日： | 2009-12-25 |
| 公開（公告）號： | CN103556225A | 公開（公告）日： | 2014-02-05 |
| 發明（設計）人： | 下平孝直;平尾崇行;今井克宏 | 申請（專利權）人： | 日本礙子株式會社 |
| 主分類號： | C30B29/40 | 分類號： | C30B29/40 |
| 代理公司： | 上海市華誠律師事務所 31210 | 代理人： | 李曉 |
| 地址： | 日本愛知縣名古*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 13 氮化物 晶體 | ||
【權利要求書】：
1.一種13族氮化物晶體，其堿金屬的含率在通過次級離子質譜檢出的下限以下，其具備：
觀察截面時，在與晶種基板內的缺陷伸長方向相交叉的方向存在晶粒邊界的第1晶層，和
層積于所述第1晶層之上，在觀察截面時，相比于所述第1晶層，具有所述晶粒邊界少或不存在的、腐蝕坑密度在104/cm2以下區域的第2晶層。
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