[發明專利]激光加工裝置

有效

• 申請號: 201310418771.8
• 申請日: 2013-09-13
• 公開（公告）號: CN103658978B
• 公開（公告）日: 2017-01-04
• 發明（設計）人: 李道炯;李忠浩;尹盛湜;樸東真
• 申請（專利權）人: 三星顯示有限公司;弗勞恩霍弗實用研究促進協會
• 主分類號: B23K26/067
• 分類號: B23K26/067;B23K26/06;C23C14/04
• 代理公司: 北京銘碩知識產權代理有限公司11286
• 代理人: 劉燦強,劉奕晴

1.一種激光加工裝置，包括：

激光發生器，用于產生激光束；

衍射光學元件，將從所述激光發生器產生的激光束分為多個子激光束；

激光束數量調整器，調整所述多個子激光束的數量。

2.根據權利要求1所述的激光加工裝置，其中，所述激光束數量調整器包括：

激光束阻斷器，阻擋所述多個子激光束中的一部分子激光束；

位置調整器，調整所述激光束阻斷器的位置。

3.根據權利要求2所述的激光加工裝置，其中，所述位置調整器包括：

水平位置調整器，調整所述激光束阻斷器的水平位置；

垂直位置調整器，調整所述激光束阻斷器的垂直位置。

4.根據權利要求3所述的激光加工裝置，其中，所述激光束阻斷器包括水平阻斷部和垂直于所述水平阻斷部的垂直阻斷部。

5.根據權利要求4所述的激光加工裝置，其中，所述垂直阻斷部連接于所述水平阻斷部的端部。

6.根據權利要求5所述的激光加工裝置，其中，所述激光束阻斷器為L字形狀。

7.根據權利要求5所述的激光加工裝置，其中，還包括連接所述水平位置調整器和所述垂直位置調整器的連接部。

8.根據權利要求7所述的激光加工裝置，其中，所述垂直位置調整器連接于所述垂直阻斷部。

9.根據權利要求7所述的激光加工裝置，其中，所述水平位置調整器連接于所述水平阻斷部。

10.根據權利要求4所述的激光加工裝置，其中，所述水平阻斷部和垂直阻斷部彼此分離。

11.根據權利要求10所述的激光加工裝置，其中，所述水平位置調整器連接于所述垂直阻斷部，所述垂直位置調整器連接于所述水平阻斷部。

12.根據權利要求1所述的激光加工裝置，其中，還包括補償基于所述多個子激光束之間的相對位置的像差的像差補償光學系統。

13.根據權利要求12所述的激光加工裝置，其中，所述像差補償光學系統包括：

第一像差補償光學系統，在所述子激光束的行進路徑上位于所述激光束數量調整器的前方；

第二像差補償光學系統，在所述子激光束的行進路徑上位于所述激光束數量調整器的后方。

14.根據權利要求1所述的激光加工裝置，還包括消除多個子激光束中的高階子激光束的高階激光束阻斷掩模。

15.根據權利要求1所述的激光加工裝置，還包括位于所述衍射光學元件的前方而將具有均勻強度的激光束引入所述衍射光學元件的激光束擴散器。