[發明專利]圖案轉移基板裝置及其圖案轉移基板有效
| 申請號： | 201310418304.5 | 申請日： | 2013-09-13 |
| 公開（公告）號： | CN103676472B | 公開（公告）日： | 2017-01-04 |
| 發明（設計）人： | 李永春;張哲瑋;謝易達;顏志男 | 申請（專利權）人： | 李永春 |
| 主分類號： | G03F7/00 | 分類號： | G03F7/00 |
| 代理公司： | 北京紀凱知識產權代理有限公司11245 | 代理人： | 趙蓉民 |
| 地址： | 中國臺灣臺南 市永康*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 圖案 轉移 裝置 及其 | ||
1.一種圖案轉移基板裝置，包括：
環形治具，具有中空部；以及
圖案轉移基板，設置于所述中空部且由所述環形治具夾持，并具有：
本體部；及
凸部，與所述本體部一體成型并位于所述本體部的外緣，所述環形治具夾持所述凸部。
2.如權利要求1所述的圖案轉移基板裝置，其中所述環形治具包括公環及母環，兩者相互連接而形成所述中空部。
3.如權利要求1所述的圖案轉移基板裝置，其中所述圖案轉移基板在由所述環形治具夾持的狀態下進行制造程序。
4.如權利要求1所述的圖案轉移基板裝置，其中所述圖案轉移基板為光罩或模仁。
5.如權利要求1所述的圖案轉移基板裝置，其中所述凸部為漸擴部或漸縮部。
6.如權利要求1所述的圖案轉移基板裝置，其中所述凸部的剖面為多邊形、弧形、圓形或其組合。
7.如權利要求1所述的圖案轉移基板裝置，其中所述凸部為環形或包括多個間隔設置的凸結構。
8.如權利要求1所述的圖案轉移基板裝置，其中所述圖案轉移基板的材質包括硅氧樹脂、UV樹脂、硅橡膠、聚氨酯樹脂或其組合。
9.如權利要求1所述的圖案轉移基板裝置，其中所述本體部的表面具有圖案化層。
10.一種圖案轉移基板，包括：
本體部；以及
凸部，與所述本體部一體成型并位于所述本體部的外緣。
11.如權利要求10所述的圖案轉移基板，其為光罩或模仁。
12.如權利要求10所述的圖案轉移基板，其中所述凸部為漸擴部或漸縮部。
13.如權利要求10所述的圖案轉移基板，其中所述凸部的剖面為多邊形、弧形、圓形或其組合。
14.如權利要求10所述的圖案轉移基板，其中所述凸部為環形或包括多個間隔設置的凸結構。
15.如權利要求10所述的圖案轉移基板，其材質包括硅氧樹脂、UV樹脂、硅橡膠、聚氨酯樹脂或其組合。
16.如權利要求10所述的圖案轉移基板，其中所述本體部的表面具有圖案化層。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于李永春，未經李永春許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201310418304.5/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
