[發明專利]用于強流電子束能量沉積深度測量的薄片陣列式量熱計有效
| 申請號： | 201310415491.1 | 申請日： | 2013-09-12 |
| 公開（公告）號： | CN103616092A | 公開（公告）日： | 2014-03-05 |
| 發明（設計）人： | 孫江;楊海亮;孫劍鋒;來定國;蘇兆峰;張鵬飛 | 申請（專利權）人： | 西北核技術研究所 |
| 主分類號： | G01K17/00 | 分類號： | G01K17/00;G01T1/29 |
| 代理公司： | 西安智邦專利商標代理有限公司 61211 | 代理人： | 王少文 |
| 地址： | 71002*** | 國省代碼： | 陜西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 用于 流電 能量 沉積 深度 測量 薄片 陣列 式量熱計 | ||
【權利要求書】：
1.用于強流電子束能量沉積深度測量的薄片陣列式量熱計，包括依次設置在電子束入射軸線上的準直單元、吸熱單元和量熱單元；其特征在于：
所述準直單元為石墨準直孔；所述石墨準直孔的內徑略大于電子束直徑；
所述吸熱單元包括多層吸熱薄片、設置在兩相鄰石墨烯薄片之間的聚四氟乙烯環；所述多層薄片中的第一層吸熱薄片為圓形薄片，其余吸熱薄片為環形薄片；所述環形薄片的內徑依次增大；
所述量熱單元包括殼體、透紅外窗、紅外相機和計算機；所述殼體的一端密封固定在吸熱單元的末端，其另一端與透紅外窗密封連接；所述第一層吸熱薄片、殼體和紅外透窗構成真空腔體；
所述紅外相機設置在透紅外窗的后方，所述紅外相機和計算機相連。
2.根據權利要求1所述的用于強流電子束能量沉積深度測量的薄片陣列式量熱計，其特征在于：所述吸熱薄片為石墨材料或石墨烯材料。
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