[發明專利]一種離子注入機法拉第杯自動換檔的控制方法無效
| 申請號： | 201310415466.3 | 申請日： | 2013-09-12 |
| 公開（公告）號： | CN104465288A | 公開（公告）日： | 2015-03-25 |
| 發明（設計）人： | 萬偉 | 申請（專利權）人： | 北京中科信電子裝備有限公司 |
| 主分類號： | H01J37/317 | 分類號： | H01J37/317;H01J37/244 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 101111 北京市通*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 離子 注入 法拉第 自動 換檔 控制 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種離子注入機法拉第杯自動換檔的控制方法，其特征在于：通過法拉第杯的自動換檔，增加束流值的精度值。
2.一種離子注入機法拉第杯自動換檔的控制方法，其特征在于：通過法拉第杯的自動換檔，確定束流的真實值，盡可能的減少誤差。
3.一種離子注入機法拉第杯自動換檔的控制方法，其特征在于：通過切換檔位，能夠控制所需數據的精確度，根據實際需要，確定最后的精度。
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