[發(fā)明專利]一種微動變形像差校正裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201310414874.7
• 申請日: 2013-09-13
• 公開（公告）號: CN104459986B
• 公開（公告）日: 2017-02-15
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 王洪尊;彭云平;馬很很
• 申請（專利權(quán)）人: 上海微電子裝備有限公司
• 主分類號: G02B26/00
• 分類號: G02B26/00;G03F7/20
• 代理公司: 上海思微知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙)31237
• 代理人: 屈蘅

1.一種微動變形像差校正裝置，用于對一變形鏡面形進行調(diào)節(jié)，其特征在于，包括：

若干驅(qū)動單元，所述驅(qū)動單元分布于所述變形鏡邊緣，用于從不同位置驅(qū)動所述變形鏡以發(fā)生面形變化；

鏡座，與所述驅(qū)動單元連接，用于支撐所述驅(qū)動單元及變形鏡。

2.如權(quán)利要求1所述的微動變形像差校正裝置，其特征在于，所述驅(qū)動單元均勻分布于所述變形鏡邊緣，所述每一驅(qū)動單元均包括溫度控制器、導(dǎo)熱塊和雙金屬片，所述溫度控制器吸熱和放熱，經(jīng)所述導(dǎo)熱塊傳遞熱量后改變所述雙金屬片的溫度使其發(fā)生彎曲變形。

3.如權(quán)利要求2所述的微動變形像差校正裝置，其特征在于，所述雙金屬片由具有兩種或多種線性膨脹系數(shù)的金屬熔合而成。

4.如權(quán)利要求2所述的微動變形像差校正裝置，其特征在于，所述溫度控制器由熱電勢差最大的P-N半導(dǎo)體制造而成。

5.如權(quán)利要求1所述的微動變形像差校正裝置，其特征在于，所述驅(qū)動單元下上均覆蓋隔熱塊用于隔絕所述驅(qū)動單元的熱量傳遞，所述隔熱塊通過一壓圈和蝶形彈簧壓緊。

6.一種微動形變像差的校正裝置，用于對物鏡內(nèi)變形鏡的面形進行調(diào)節(jié)，其特征在于，包括：

一變形鏡，所述變形鏡發(fā)生形變時補償所述物鏡像差；

若干驅(qū)動單元，所述驅(qū)動單元分布于所述變形鏡邊緣，用于從不同位置驅(qū)動所述變形鏡

以發(fā)生面形變化；

一鏡座，與所述驅(qū)動單元連接，用于支撐所述驅(qū)動單元及變形鏡；

一波像差傳感器，用于檢測所述物鏡各階像差；

一主控制單元，用于根據(jù)所述波像差傳感器的檢測結(jié)果，計算各階像差補償值；

微動機構(gòu)控制單元，根據(jù)所述補償值使驅(qū)動單元驅(qū)動所述變形鏡發(fā)生形變。

7.如權(quán)利要求6所述的微動形變像差的校正裝置，其特征在于，所述驅(qū)動單元均勻分布于所述變形鏡邊緣，所述每一驅(qū)動單元均包括溫度控制器、導(dǎo)熱塊和雙金屬片，所述溫度控制器吸熱和放熱，經(jīng)所述導(dǎo)熱塊傳遞熱量后改變所述雙金屬片的溫度使其發(fā)生彎曲變形，進而使得所述變形鏡發(fā)生形變。

8.如權(quán)利要求7所述的微動變形像差校正裝置，其特征在于，所述雙金屬片由具有兩種或多種線性膨脹系數(shù)的金屬熔合而成。

9.如權(quán)利要求7所述的微動變形像差校正裝置，其特征在于，所述溫度控制器由熱電勢差最大的P-N半導(dǎo)體制造而成。

10.如權(quán)利要求6所述的微動變形像差校正裝置，其特征在于，所述驅(qū)動單元下上均覆蓋隔熱塊用于隔絕所述驅(qū)動單元的熱量傳遞，所述隔熱塊通過一壓圈和蝶形彈簧壓緊。

11.如權(quán)利要求7所述的微動變形像差校正裝置，其特征在于：所述微機構(gòu)控制單元控制所述溫度控制器的電壓大小和方向，實現(xiàn)溫度控制器的吸熱和放熱。