[發明專利]一種ITO表面粗化處理方法無效
| 申請號： | 201310414703.4 | 申請日： | 2013-09-12 |
| 公開（公告）號： | CN103474528A | 公開（公告）日： | 2013-12-25 |
| 發明（設計）人： | 郁彬 | 申請（專利權）人： | 昆山奧德魯自動化技術有限公司 |
| 主分類號： | H01L33/00 | 分類號： | H01L33/00;H01L33/38 |
| 代理公司： | 南京蘇高專利商標事務所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 柏尚春 |
| 地址： | 江蘇省蘇州市*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 ito 表面 處理 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種ITO表面粗化處理方法，其特征在于包括以下步驟：
（1）將清洗后的外延片進行ITO蒸鍍；
（2）將表面鍍有ITO的外延片送至ICP機臺內，所述機臺加載的上電極功率為260-300W，所述機臺加載的下電極功率為30-50W，在上述工藝下通入惰性氣體進行干法刻蝕3-5min。
2.根據權利要求1所述的一種ITO表面粗化處理方法，其特征在于：所述步驟（2）通入惰性氣體為氬氣，其流量為20-30sccm。
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