[發明專利]形狀測量裝置

有效

• 申請號: 201310413996.4
• 申請日: 2013-09-12
• 公開（公告）號: CN103673921A
• 公開（公告）日: 2014-03-26
• 發明（設計）人: 久保圭司
• 申請（專利權）人: 松下電器產業株式會社
• 主分類號: G01B11/24
• 分類號: G01B11/24
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 11021
• 代理人: 張寶榮

1.一種形狀測量裝置，該形狀測量裝置具備：

平臺；

第一移動體，其配置于所述平臺上，具有沿所述平臺的XY軸方向中的任一個的第一軸方向延伸且與所述平臺相連結的第一固定部和相對于所述第一固定部沿所述第一軸方向進行前后移動的第一可動部；

移動輔助體，其具有沿所述第一軸方向延伸且與所述平臺連結的輔助體固定部和相對于所述輔助體固定部與所述第一可動部的移動方向大致平行地進行前后移動的輔助體可動部；以及

第二移動體，其具有沿所述平臺的所述XY軸方向中的與所述第一軸方向正交的第二軸方向延伸的第二固定部和相對于所述第二固定部在所述第二軸方向上進行左右移動的第二可動部，所述第二固定部的一端部能移動地支承于所述第一移動體，另一端部固定于所述移動輔助體的所述輔助體可動部，

所述第一移動體具有包括所述第一固定部和所述第一可動部的第一軸方向驅動裝置，并且所述第二移動體具有包括所述第二固定部和所述第二可動部的第二軸方向驅動裝置，驅動所述第一軸方向驅動裝置而使XY工作臺與所述第一可動部一起相對于所述第一固定部在所述第一軸方向上移動，

當驅動所述第二軸方向驅動裝置而使所述XY工作臺與所述第二可動部一起相對于所述第二固定部在所述第二軸方向上移動時，利用所述移動輔助體承受所述第二可動部移動時產生的力的反作用，

利用所述XY工作臺支承對測量物的表面進行測量的探針和所述測量物中的其中一方，將另一方支承于所述平臺，

驅動所述XY工作臺而使所述探針相對于所述測量物的所述表面在XY軸方向上相對地進行掃描，根據由所述探針獲得的信息測量所述測量物的形狀。

2.根據權利要求1所述的形狀測量裝置，其中，

該形狀測量裝置還具備連結機構，該連結機構使所述移動輔助體的所述輔助體可動部與所述第一移動體的所述第一可動部的移動相應地同步移動。

3.根據權利要求1或2所述的形狀測量裝置，其中，

該形狀測量裝置還具備：

位置檢測裝置，其用于檢測所述第二移動體的所述第二可動部相對于所述第一移動體的位置；

位置控制部，其基于由所述位置檢測裝置檢測的所述第二可動部的位置來對所述第二軸方向驅動裝置進行驅動控制。