[發(fā)明專利]一種反射鏡精密調(diào)整裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201310413344.0 | 申請日： | 2013-09-12 |
| 公開（公告）號： | CN104459937B | 公開（公告）日： | 2018-01-19 |
| 發(fā)明（設計）人： | 章富平;魯武旺;陳宇環(huán);馬曉晴 | 申請（專利權(quán)）人： | 上海微電子裝備（集團）股份有限公司 |
| 主分類號： | G02B7/198 | 分類號： | G02B7/198 |
| 代理公司： | 上海思微知識產(chǎn)權(quán)代理事務所(普通合伙)31237 | 代理人： | 屈蘅 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 國省代碼： | 上海;31 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 反射 精密 調(diào)整 裝置 | ||
1.一種反射鏡精密調(diào)整裝置，設置在光學系統(tǒng)鏡座上，其特征在于包括：第一鏡環(huán)、第二鏡環(huán)和第三鏡環(huán)；所述第一鏡環(huán)和第二鏡環(huán)之間通過第一簧片組件連接；所述第二鏡環(huán)和第三鏡環(huán)通過第二簧片組件連接；所述第一鏡環(huán)相對于所述第二鏡環(huán)旋轉(zhuǎn)；所述第二鏡環(huán)相對于所述第三鏡環(huán)旋轉(zhuǎn)；反射鏡設置在所述第一鏡環(huán)上；所述第三鏡環(huán)通過轉(zhuǎn)接板與所述鏡座連接。
2.如權(quán)利要求1所述的反射鏡精密調(diào)整裝置，其特征在于所述反射鏡通過一壓蓋與所述第一鏡環(huán)固定連接。
3.如權(quán)利要求2所述的反射鏡精密調(diào)整裝置，其特征在于：通過直線電機驅(qū)動所述第二鏡環(huán)相對所述第一鏡環(huán)旋轉(zhuǎn)；通過直線電機驅(qū)動所述第三鏡環(huán)相對所述第二鏡環(huán)旋轉(zhuǎn)。
4.如權(quán)利要求3所述的反射鏡精密調(diào)整裝置，其特征在于，所述第一鏡環(huán)上裝有銷釘，所述第三鏡環(huán)上裝有所述直線電機，所述第一鏡環(huán)與第三鏡環(huán)通過螺釘和彈簧彈性連接，直線電機出軸伸出或縮進時始終與所述銷釘緊密貼合。
5.如權(quán)利要求1所述的反射鏡精密調(diào)整裝置，其特征在于，所述第一簧片組件和第二簧片組件均由多個簧片組成，簧片與簧片之間通過支架、壓板連接，支架之間可以相對旋轉(zhuǎn)。
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