[發明專利]形狀測量裝置、形狀測量方法、和形狀測量程序

在審

• 申請號: 201310413020.7
• 申請日: 2013-09-11
• 公開（公告）號: CN103673924A
• 公開（公告）日: 2014-03-26
• 發明（設計）人: 中務貴司
• 申請（專利權）人: 株式會社其恩斯
• 主分類號: G01B11/25
• 分類號: G01B11/25
• 代理公司: 北京天昊聯合知識產權代理有限公司 11112
• 代理人: 陳源;李銘

1.一種形狀測量裝置，包括：

載物臺，其上安裝測量對象；

光投射單元，其被構造為利用具有用于檢查所述測量對象的姿態的第一圖案的第一光從斜上方照射安裝在所述載物臺上的所述測量對象，并且利用具有用于測量所述測量對象的形狀的第二圖案的第二光從斜上方照射安裝在所述載物臺上的所述測量對象，所述第二圖案與所述第一圖案不同；

光接收單元，其被布置在所述載物臺的上方，并且被構造為接收被安裝在所述載物臺上的所述測量對象反射的光，并輸出表示光接收量的光接收信號，并且被構造為對安裝在所述載物臺上的所述測量對象進行成像；

數據生成單元，其被構造為基于所述光接收單元輸出的所述光接收信號，通過三角測距法來生成表示所述測量對象的立體形狀的立體形狀數據；

顯示部，其被構造為顯示被所述光接收單元捕獲的所述測量對象的圖像；

控制部，其用于在進行形狀測量之前，控制所述光投射單元用所述第一光照射所述測量對象并且控制所述顯示部顯示所述光接收單元捕獲的所述測量對象的圖像，以及在進行形狀測量時，控制所述光投射單元用所述第二光照射所述測量對象并且控制所述數據生成單元生成所述立體形狀數據；以及

姿態調節單元，其可操作用于在利用所述光投射單元以所述第一光照射所述測量對象時來調節所述測量對象的姿態。

2.如權利要求1所述的形狀測量裝置，還包括：

估計單元，其用于在所述光投射單元以所述第一光照射所述測量對象時，基于所述光接收單元捕獲的所述測量對象的圖像，來估計通過三角測距法生成的所述立體形狀數據的缺陷部分，其中

所述控制部控制所述顯示部顯示所述測量對象的圖像，以識別所述估計單元估計出的所述缺陷部分。

3.如權利要求2所述的形狀測量裝置，其中

所述估計單元隨著由所述姿態調節單元調節的所述測量對象的姿態的改變，順序地估計所述缺陷部分；以及

所述控制部控制所述顯示部順序地更新并顯示所述測量對象的圖像，以順序識別所述估計單元估計出的缺陷部分。

4.如權利要求2所述的形狀測量裝置，其中所述立體形狀數據的缺陷部分對應于所述測量對象的形成陰影的部分或者所述測量對象的出現所述第二光的多重反射的部分。

5.如權利要求1所述的形狀測量裝置，其中所述第一圖案包括：

第一條紋圖案，其由多個第一條紋構成，所述多個第一條紋在第一方向上延伸且在與所述第一方向相交的第二方向上排列；

第二條紋圖案，其由多個第二條紋構成，所述多個第二條紋在與所述第一方向不同的第三方向上延伸且在與所述第三方向相交的第四方向上排列；

點圖案，其由多個點構成；

格子圖案，其包括彼此相交的所述多個第一條紋和所述多個第二條紋；或者

均勻圖案，其在至少所述測量對象的表面的區域中具有均勻光量分布。

6.如權利要求1所述的形狀測量裝置，其中

所述光投射單元包括在不同方向從不同位置利用所述第一光來照射所述測量對象的第一光投射單元和第二光投射單元，以及

所述控制部控制所述第一光投射單元來利用所述第一光來照射所述測量對象，并在所述第一光投射單元照射所述第一光時，控制所述顯示部顯示所述光接收單元捕獲的所述測量對象的圖像作為第一圖像，并且所述控制部控制所述第二光投射單元利用所述第一光來照射所述測量對象，并在所述第二光投射單元照射所述第一光時，控制所述顯示部顯示所述光接收單元捕獲的所述測量對象的圖像作為第二圖像，或者所述控制部在所述形狀測量之前控制所述顯示部將所述第一圖像和所述第二圖像合成作為第三圖像并且顯示所述第三圖像。