[發明專利]鈦鋁鉻合金靶材及其制備方法

在審

• 申請號: 201310412855.0
• 申請日: 2013-09-11
• 公開（公告）號: CN104419847A
• 公開（公告）日: 2015-03-18
• 發明（設計）人: 王鐵軍;唐培新;張路長;孫繼洲;郝權;趙雷;何向暉
• 申請（專利權）人: 安泰科技股份有限公司
• 主分類號: C22C14/00
• 分類號: C22C14/00;C22C21/00;C22C30/00;C22C1/04;C23C14/34
• 代理公司: 北京五洲洋和知識產權代理事務所(普通合伙) 11387
• 代理人: 劉春成;張向琨

1.一種鈦鋁鉻合金靶材，其特征在于，按原子百分比由以下成分組成：鈦5-75%，鋁10-90%，鉻1-20%。

2.根據權利要求1所述的鈦鋁鉻合金靶材，其特征在于，按原子百分比由以下成分組成：鈦25%，鋁60%，鉻15%。

3.根據權利要求1所述的鈦鋁鉻合金靶材，其特征在于，所述合金靶材的相對密度超過99%，平均晶粒尺寸不大于100μm。

4.權利要求1-3任一所述鈦鋁鉻合金靶材的制備方法，其特征在于，包括以下步驟：

步驟一，合金粉末的制備；

步驟二，對制備好的所述合金粉末進行冷等靜壓處理；

步驟三，對所述冷等靜壓處理后的料坯進行脫氣處理；

步驟四，對所述脫氣處理后的料坯進行熱等靜壓處理；

步驟五，對所述熱等靜壓處理后的料坯進行機加工，清洗后得到所需要的成品合金靶材。

5.根據權利要求4所述的制備方法，其特征在于，在所述步驟一中，所述合金粉末是采用霧化制粉方法制備的或者在混料機中直接將平均粒徑符合要求的原料進行混合來制備的。

6.根據權利要求5所述的制備方法，其特征在于，所述在混料機中直接將平均粒徑符合要求的原料進行混合是指于真空或惰性氣體保護條件下在V型混料機中混合3-5h。

7.根據權利要求4所述的制備方法，其特征在于，所述合金粉末的平均粒徑為30-150μm。

8.根據權利要求4所述的制備方法，其特征在于，在所述步驟二中，在20-200MPa壓力下進行冷等靜壓處理，保壓時間為10-30min。

9.根據權利要求4所述的制備方法，其特征在于，在所述步驟三中，所述脫氣處理的溫度為300-500℃，脫氣時間為5-30h；優選地，所述脫氣處理時的真空度控制在10^-1Pa～10^-4Pa。

10.根據權利要求4所述的制備方法，其特征在于，在所述步驟四中，所述熱等靜壓處理的保溫溫度為800-1300℃，保溫時間為2-5h，壓力為120-150MPa。