[發(fā)明專利]快速、準(zhǔn)確的光學(xué)非球面的實(shí)時(shí)檢測(cè)方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201310412055.9
• 申請(qǐng)日: 2012-10-29
• 公開（公告）號(hào): CN103471521A
• 公開（公告）日: 2013-12-25
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 潘寶珠;方靖淮;湯靖;趙永林;笪健;崔榮華
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 南通大學(xué)
• 主分類號(hào): G01B11/24
• 分類號(hào): G01B11/24
• 代理公司: 南通市永通專利事務(wù)所 32100
• 代理人: 葛雷

1.一種快速、準(zhǔn)確的光學(xué)非球面的實(shí)時(shí)檢測(cè)方法，其特征是：利用光學(xué)設(shè)計(jì)軟件仿真出旋轉(zhuǎn)軸對(duì)稱光學(xué)非球面相對(duì)于最接近球面的波像差，稱為理論波像差，將此波像差，在極坐標(biāo)下利用zernike多項(xiàng)式進(jìn)行擬合，令x=rcosα，y=rsinα，將極坐標(biāo)下的zernike方程轉(zhuǎn)化為直角坐標(biāo)下的形式；使用數(shù)字波面干涉儀利用球面鏡頭直接測(cè)量出旋轉(zhuǎn)軸對(duì)稱光學(xué)非球面相對(duì)于鏡頭參考面的波像差，稱為實(shí)際波像差；實(shí)際波像差用離散的三維矩陣(x,y,z)表示，x，y表示像素的位置，z表示對(duì)應(yīng)像素位置波像差的矢高；根據(jù)實(shí)際波像差的三維矩陣，確定實(shí)際波面的有效像素，以此為依據(jù)對(duì)理論波像差在直角坐標(biāo)系下的zernike多項(xiàng)式進(jìn)行像素劃分，將zernike多項(xiàng)式表示的理論波像差轉(zhuǎn)化為矩陣(x',y',z')的形式，保證與實(shí)際波像差有效像素的分布相同，將實(shí)際波像差的矩陣和理論波像差的矩陣統(tǒng)一到同一坐標(biāo)系下，讓兩個(gè)波像差的像素一一對(duì)應(yīng)，然后將兩個(gè)波像差的矢高做差法運(yùn)算，即Δz=z'-z，即得到非球面實(shí)際面形與理論面形的殘差分布，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)旋轉(zhuǎn)軸對(duì)稱光學(xué)非球面的實(shí)時(shí)檢測(cè)；數(shù)字波面干涉儀測(cè)量出待測(cè)光學(xué)非球面的全口徑波像差，并去除位置、傾斜、離焦誤差；利用光學(xué)設(shè)計(jì)軟件，對(duì)旋轉(zhuǎn)軸對(duì)稱非球面進(jìn)行自準(zhǔn)直檢測(cè)進(jìn)行仿真，得到非球面相對(duì)于最接近球面的波像差。