[發(fā)明專利]微流控芯片合片機有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201310411174.2 | 申請日: | 2013-09-09 |
| 公開(公告)號: | CN103474360A | 公開(公告)日: | 2013-12-25 |
| 發(fā)明(設(shè)計)人: | 白向陽 | 申請(專利權(quán))人: | 江陰迪林生物電子技術(shù)有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/50 | 分類號: | H01L21/50;H01L21/68;H01L21/60 |
| 代理公司: | 暫無信息 | 代理人: | 暫無信息 |
| 地址: | 214434 江蘇*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
| 權(quán)利要求書: | 查看更多 | 說明書: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 微流控 芯片 合片機 | ||
1.微流控芯片合片機,其特征在于:包括底座(1)、固化裝置、定位盤、真空加壓裝置、控制機構(gòu),
所述固化裝置安裝在底座(1)頂部的槽孔內(nèi),固化裝置包括固定在槽孔內(nèi)底上的紫外線固化燈(3),紫外線固化燈(3)上方的槽孔側(cè)壁之間設(shè)置受控于控制機構(gòu)進(jìn)行開合動作的自動門(5),
所述定位盤固定在底座(1)頂部,定位盤包括安裝在槽孔頂部外沿上的與槽孔尺寸對應(yīng)的盤面(6),盤面(6)的四周設(shè)置內(nèi)側(cè)帶有真空吸附孔(11)的邊艙(7),邊艙(7)的邊角處設(shè)置由氣缸(8)控制的水平運動伸入相應(yīng)盤面邊角的用于隔離的擋片(10),
所述真空加壓裝置設(shè)置在定位盤的正上方,真空加壓裝置包括由伺服電機A(20)通過絲杠螺母副帶動的與槽孔頂部外沿配合的外接真空泵的真空室(9),真空室(9)內(nèi)設(shè)置由伺服電機B(22)驅(qū)動的與邊艙內(nèi)側(cè)的盤面對應(yīng)的外接抽真空裝置的真空腔,真空腔的下表面設(shè)置真空吸附小孔(24)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微流控芯片合片機,其特征在于:所述定位盤其中兩個對角處設(shè)置擋片(10),氣缸(8)固定在邊艙(7)外側(cè),氣缸(8)的運動桿連接擋片(10),擋片(10)包括兩個互相垂直連接為一體的鋼片,邊艙(7)上開設(shè)供擋片運動的長槽。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的微流控芯片合片機,其特征在于:所述定位盤的盤面(6)采用透明的鋼化玻璃制作。
4.根據(jù)權(quán)利要求1~3任一項所述的微流控芯片合片機,其特征在于:所述定位盤的邊艙(7)的內(nèi)側(cè)壁設(shè)置向上向外展開的40°~60°的導(dǎo)向角。
5.根據(jù)權(quán)利要求1~3任一項所述的微流控芯片合片機,其特征在于:所述槽孔的內(nèi)底上設(shè)置反光罩(4)。
6.根據(jù)權(quán)利要求1~3任一項所述的微流控芯片合片機,其特征在于:所述底座(1)外側(cè)設(shè)置受控于控制機構(gòu)的感應(yīng)門。
7.根據(jù)權(quán)利要求1~3任一項所述的微流控芯片合片機,其特征在于:所述底座(1)下部設(shè)置散熱風(fēng)扇(2)。
該專利技術(shù)資料僅供研究查看技術(shù)是否侵權(quán)等信息,商用須獲得專利權(quán)人授權(quán)。該專利全部權(quán)利屬于江陰迪林生物電子技術(shù)有限公司,未經(jīng)江陰迪林生物電子技術(shù)有限公司許可,擅自商用是侵權(quán)行為。如果您想購買此專利、獲得商業(yè)授權(quán)和技術(shù)合作,請聯(lián)系【客服】
本文鏈接:http://www.szxzyx.cn/pat/books/201310411174.2/1.html,轉(zhuǎn)載請聲明來源鉆瓜專利網(wǎng)。
- 同類專利
- 專利分類
H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





