[發明專利]液態微機電系統部件及其射頻應用

有效

• 申請號: 201310409833.9
• 申請日: 2013-09-10
• 公開（公告）號: CN103684511A
• 公開（公告）日: 2014-03-26
• 發明（設計）人: 艾哈邁德禮薩·羅福加蘭
• 申請（專利權）人: 美國博通公司
• 主分類號: H04B1/40
• 分類號: H04B1/40;B81B7/02;H01Q1/22
• 代理公司: 北京康信知識產權代理有限責任公司 11240
• 代理人: 田喜慶

1.一種無線電電路，包括：

前端模塊，實現在至少一個集成電路（IC）晶方上，所述前端模塊包括可變電路，其中，所述可變電路是可調整的以針對所述無線電電路的給定操作情況實現所述前端模塊的操作調整；

板，支撐一個或多個液態微機電系統（MEMS）部件以及至少間接地支撐所述至少一個集成電路晶方；以及

耦接部件，將所述一個或多個液態微機電系統部件電氣耦接至所述可變電路，其中，所述一個或多個液態微機電系統部件的一個或多個特性基于控制信號被改變，所述改變調整所述可變電路。

2.根據權利要求1所述的無線電電路，其中，所述一個或多個液態微機電系統部件中的液態微機電系統部件包括：

通道，在所述板的一個或多個層中或在第二板的一個或多個層中；

所述液態微機電系統部件的一個或多個導電元件；

微滴，包含在所述通道中；以及

微滴致動模塊，基于所述控制信號可操作地相對于所述一個或多個導電元件改變所述微滴從而改變所述液態微機電系統部件的所述一個或多個特性。

3.根據權利要求2所述的無線電電路，其中，所述微滴致動模塊包括以下各項中的至少一項：

電場源；

磁場源；

熱源；

壓縮源；以及

膨脹源。

4.根據權利要求2所述的無線電電路，其中，所述微滴包括以下各項中的至少一項：

導電微滴；

液體絕緣微滴；

響應于所述微滴致動模塊的操作而膨脹的膨脹液態微滴；

響應于所述微滴致動模塊的操作而收縮的收縮液態微滴；

響應于所述微滴致動模塊的操作而被排斥的排斥液態微滴；以及

響應于所述可微滴致動模塊的操作而被吸引的吸引液態微滴。

5.根據權利要求2所述的無線電電路，其中，所述通道包括以下各項中的至少一項：

在所述通道的至少一個內表面上的導電涂層；

在所述通道的一個或多個內表面上的絕緣涂層；以及

在所述板的另一個層中的蓋子。

6.根據權利要求2所述的無線電電路，其中，所述液態微機電系統部件進一步包括：

在所述通道內的氣體，其中，在所述微滴致動模塊操作時所述氣體有助于改變所述微滴。

7.根據權利要求1所述的無線電電路，其中，所述板包括以下各項中的至少一項：

印刷電路板（PCB）；

集成電路（IC）封裝基板；

PCB或IC封裝基板的重分布層（RDL）。

8.根據權利要求1所述的無線電電路，其中，所述前端模塊包括以下各項中的至少一項：

包括功率放大器可變電路的功率放大器（PA）；

包括接收器-發射器可變電路的接收器-發射器（RX-TX）隔離模塊；

包括濾波可變電路的射頻（RF）濾波器；

包括天線調諧單元可變電路的天線調諧單元（ATU）；以及

頻帶（FB）開關，

其中，所述可變電路包括以下各項之一：所述功率放大器可變電路、所述接收器-發射器可變電路、所述濾波可變電路以及所述天線調諧單元可變電路，以及其中，所述前端模塊的操作調整包括以下各項中的至少一項：模式選擇、天線調諧單元調諧、接收器-發射器隔離調諧、射頻濾波器調諧、以及功率放大器配置。

9.一種連同集成電路（IC）晶方使用的液態微機電系統（MEMS）部件，所述液態微機電系統（MEMS）部件包括：

通道；

一個或多個導電元件，被定位為鄰近所述通道；

微滴，包含在所述通道中；以及

微滴致動模塊，基于所述控制信號，所述微滴致動模塊可操作地相對于所述一個或多個導電元件改變所述微滴從而改變所述液態微機電系統部件的一個或多個特性；以及

板，支撐所述通道并且支撐所述集成電路晶方。

10.一種無線電電路，包括：

雙工器，其中，所述雙工器的第一連接用于耦接至天線；

功率放大器，可操作地耦接至所述雙工器的第二連接；

公共模式感測電路，可操作地耦接至所述雙工器的第三連接和第四連接；以及

平衡網絡，可操作地耦接至所述雙工器的第五連接，其中，所述平衡網絡包括液態微機電系統（MEMS）部件，其中，所述微機電系統部件基于控制信號而改變，以便調整所述平衡網絡的一個或多個特性，使得所述雙工器被調諧以改善經由所述天線收發的入站射頻（RF）信號與出站射頻信號之間的隔離，其中，所述液態微機電系統部件包括：

通道；

一個或多個導電元件，被定位為鄰近所述通道；

微滴，包含在所述通道中；以及

微滴致動模塊，基于所述控制信號，所述微滴致動模塊可操作地相對于所述一個或多個導電元件改變所述微滴從而改變所述液態微機電系統部件的一個或多個特性；以及

板，支撐所述通道并且支撐至少包括所述公共模式感測電路的集成電路（IC）晶方。