[發明專利]電容式壓力傳感器

在審

• 申請號: 201310407162.2
• 申請日: 2013-09-09
• 公開（公告）號: CN103674403A
• 公開（公告）日: 2014-03-26
• 發明（設計）人: 萊奧·E·巴龍;約翰·A·曹扎斯蒂
• 申請（專利權）人: 丹尼斯科工具有限公司
• 主分類號: G01L9/12
• 分類號: G01L9/12
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 董敏;田軍鋒

1.一種壓力傳感器，包括：

探測器本體，所述探測器本體包括壓力可彎曲隔板端，壓力可彎曲的所述隔板端由具有第一熱膨脹系數的第一材料形成，所述隔板端包括第一表面，所述第一表面至少部分地限定電容器的第一部分；

相對不可變形的部件，所述相對不可變形的部件由具有第二熱膨脹系數的第二材料形成，所述相對不可變形的部件包括與所述第一表面間隔開的第二表面，所述第二表面至少部分地限定所述電容器的第二部分；以及

中間部件，所述中間部件布置在周圍區域處，所述中間部件使壓力可彎曲的所述隔板端與所述相對不可變形的部件彼此隔離，所述中間部件由具有第三熱膨脹系數的第三材料形成；

其中，所述第三熱膨脹系數小于所述第一熱膨脹系數。

2.根據權利要求1所述的壓力傳感器，其中，所述第三熱膨脹系數與所述第二熱膨脹系數相似。

3.根據權利要求1所述的壓力傳感器，其中，所述第三熱膨脹系數小于所述第二熱膨脹系數。

4.根據權利要求1所述的壓力傳感器，其中，所述相對不可變形的部件包括由氧化鋁形成的盤形部件。

5.根據權利要求1所述的壓力傳感器，其中，所述相對不可變形的部件是朝向壓力可彎曲的所述隔板端偏置的彈簧。

6.根據權利要求5所述的壓力傳感器，其中，所述相對不可變形的部件是在所述探測器本體與壓力可彎曲的所述隔板端之間偏置的彈簧。

7.根據權利要求1所述的壓力傳感器，其中，所述中間部件包括鐵-鎳-鈷合金。

8.根據權利要求1所述的壓力傳感器，其中，所述中間部件包括鈦。

9.根據權利要求1所述的壓力傳感器，其中，所述中間部件包括環形墊片。

10.根據權利要求1所述的壓力傳感器，其中，所述中間部件在壓力可彎曲的所述隔板端和所述相對不可變形的部件至少之一上形成為涂層。

11.根據權利要求1所述的壓力傳感器，其中，所述中間部件構造和設置成減小所述不可變形的部件與壓力可彎曲的所述隔板端之間的熱感生的徑向張應力。

12.根據權利要求1所述的壓力傳感器，其中，所述中間部件布置在所述第一表面與所述第二表面之間的周圍區域處。

13.根據權利要求1所述的壓力傳感器，其中，壓力可彎曲的所述隔板端由金屬形成。

14.根據權利要求1所述的壓力傳感器，其中，所述相對不可變形的部件由相對電絕緣的材料形成，并且其中，所述第二表面包括金屬化層。

15.根據權利要求1所述的壓力傳感器，其中，所述探測器本體的壓力可彎曲的所述隔板端包括遠端部，并且其中，所述探測器本體包括在所述遠端部的對面的近端部，其中，在所述近端部處布置有中間電路外殼，并且其中，在所述中間電路外殼中布置有中間電路，其中，所述電容器的所述第一部分和所述第二部分限定了電容式傳感器，同時所述中間電路從所述電容式傳感器接收信號。

16.根據權利要求15所述的壓力傳感器，所述壓力傳感器還包括遠程電路外殼以及布置在所述遠程電路外殼中的主電路，所述遠程電路外殼通過互連裝置連接至所述中間電路外殼，所述中間電路通過所述互連裝置與所述主電路連通。

17.根據權利要求16所述的壓力傳感器，其中，所述中間電路布置在印刷電路板上，并且其中，在所述印刷電路板上布置有溫度傳感器。

18.根據權利要求17所述的壓力傳感器，其中，所述主電路構造成從所述溫度傳感器接收溫度信號，并且其中，所述主電路構造成產生對所述中間電子器件外殼的溫度進行補償的輸出信號。

19.根據權利要求1所述的壓力傳感器，其中，所述中間部件包括具有低摩擦系數的材料。