[發明專利]阻抗調整裝置

在審

• 申請號: 201310404045.0
• 申請日: 2013-09-06
• 公開（公告）號: CN103716003A
• 公開（公告）日: 2014-04-09
• 發明（設計）人: 下元隆;板谷耕司;水渡正勝
• 申請（專利權）人: 株式會社大亨
• 主分類號: H03H7/40
• 分類號: H03H7/40
• 代理公司: 北京尚誠知識產權代理有限公司 11322
• 代理人: 龍淳

1.一種阻抗調整裝置，其設置在高頻電源與負載之間，用來調整從所述高頻電源觀察所述負載側時的對象阻抗，該阻抗調整裝置的特征在于，包括：

與所述高頻電源連接的輸入端；

與所述負載連接的輸出端；

可變電特性元件；

特性參數存儲單元，其為存儲表示該阻抗調整裝置的傳輸特性的多個特性參數的特性參數存儲單元，所述多個特性參數分別是對于將與所述高頻電源的輸出頻率對應的多個頻率調整點和與所述可變電特性元件的電特性對應的多個電特性調整點組合而得到的多個調整點獲取的；

高頻信息檢測單元，其檢測所述輸入端的高頻信息；

輸出頻率獲取單元，其獲取所述高頻電源的輸出頻率；

電特性獲取單元，其獲取所述可變電特性元件的電特性；

特性參數獲取單元，其基于所述多個特性參數獲取對于將所述獲取的輸出頻率與所述獲取的電特性組合而得到的調整點的特性參數；

輸出反射系數運算單元，其基于由所述高頻信息檢測單元檢測出的高頻信息和由所述特性參數獲取單元獲取的特性參數，運算所述輸出端的輸出反射系數；

指定單元，其基于所述輸出反射系數、預先設定的目標輸入反射系數和所述多個特性參數，從所述多個調整點中對使所述對象阻抗與所述高頻電源的阻抗匹配的阻抗調整點進行指定；

電特性元件調整單元，其將所述可變電特性元件的電特性調整為所述阻抗調整點的電特性；和

指令信號輸出單元，其將用于使所述高頻電源的輸出頻率調整至所述阻抗調整點的輸出頻率的指令信號輸出至所述高頻電源。

2.如權利要求1所述的阻抗調整裝置，其特征在于：

所述特性參數存儲單元存儲按每個所述調整點實測得到的特性參數、或將實測得到的特性參數轉換而得到的與該特性參數不同種類的特性參數。

3.如權利要求2所述的阻抗調整裝置，其特征在于：

所述測定得到的特性參數為S參數，與該特性參數不同種類的特性參數為T參數。

4.如權利要求1所述的阻抗調整裝置，其特征在于：

所述特性參數存儲單元存儲的多個特性參數包括實測值和推定值，該實測值是對所述多個調整點的一部分按每個調整點實際測定而得到的值，該推定值是對所述多個調整點的未被實測的調整點，按每個調整點通過使用所述實測值進行的插補運算計算出的值。

5.如權利要求4所述的阻抗調整裝置，其特征在于：

被實測出所述特性參數的調整點是將從所述多個頻率調整點按第一間隔抽取的一部分頻率調整點和從所述多個電特性調整點按第二間隔抽取的一部分電特性調整點組合而得到的調整點。

6.如權利要求1～5中的任一項所述的阻抗調整裝置，其特征在于：

所述指定單元基于所述目標輸入反射系數和所述多個特性參數，對假定已將所述可變高頻電源的輸出頻率和所述可變電特性元件的電特性調整至所述多個調整點的情況下的、各調整點的所述輸出端的虛擬的輸出反射系數進行運算，將所述輸出反射系數與所述虛擬的輸出反射系數的差為最小的調整點作為所述對象阻抗的調整點進行指定。

7.如權利要求1～5中的任一項所述的阻抗調整裝置，其特征在于：

所述高頻信息是從所述高頻電源向所述負載側行進的行波電壓和從所述負載向所述高頻電源側反射的反射波電壓。

8.如權利要求1～5中的任一項所述的阻抗調整裝置，其特征在于：

所述輸出反射系數運算單元基于所述高頻信息運算所述輸入端的輸入反射系數，基于該輸入反射系數和所述獲取的特性參數運算所述輸出反射系數。

9.如權利要求1～5中的任一項所述的阻抗調整裝置，其特征在于，還包括：

使用所述高頻信息檢測所述高頻電源的輸出頻率的頻率檢測單元。

10.如權利要求1～5中的任一項所述的阻抗調整裝置，其特征在于：

所述高頻電源將正在輸出的高頻的輸出頻率的信息輸出到所述阻抗調整裝置，

所述輸出頻率獲取單元將從所述高頻電源輸入的輸出頻率的信息作為所述高頻電源的輸出頻率而獲取。