[發明專利]基于壓電掃描管階躍響應曲線的原子力顯微鏡動態成像方法有效
| 申請號： | 201310401957.2 | 申請日： | 2013-09-06 |
| 公開（公告）號： | CN103472266A | 公開（公告）日： | 2013-12-25 |
| 發明（設計）人： | 方勇純;任逍;張雪波;齊寧寧 | 申請（專利權）人： | 南開大學 |
| 主分類號： | G01Q60/24 | 分類號： | G01Q60/24 |
| 代理公司： | 天津佳盟知識產權代理有限公司 12002 | 代理人： | 侯力 |
| 地址： | 300071*** | 國省代碼： | 天津;12 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 基于 壓電 掃描 階躍 響應 曲線 原子 顯微鏡 動態 成像 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種基于壓電掃描管階躍響應曲線的原子力顯微鏡動態成像方法，其特征在于該方法具體步驟如下：
第1、首先獲得壓電掃描管的動態特性信息
第1.1、增益系數的標定：在開環控制下，利用標定光柵對壓電掃描管的前置高壓放大器增益系數???????????????????????????????????????????????，和激光檢測系統增益系數進行標定；
第1.2、壓電掃描管階躍響應曲線的測量：在開環控制下，通過RTLinux控制平臺在壓電掃描管上施加單位階躍信號，同時記錄激光檢測系統的輸出信號，處理得到壓電掃描管的階躍響應曲線，并對該曲線進行采樣，記為，其中為采樣間隔，，為總的采樣點數；
第2、利用上步已獲得的壓電掃描管動態特性信息，對不同的樣品進行成像
第2.1、采集成像所需數據：調節控制器參數，使掃描探針對樣品表面的跟蹤效果達到最優，記錄下控制電壓輸入信號和控制誤差信號；
第2.2、動態成像：將第2.1步采集的數據，和第1.2步得到的壓電掃描管階躍響應曲線采樣序列、以及增益系數、代入成像公式(7)：
?(7)
其中為第n個采樣點時的樣品形貌高度值，為第個采樣點時的控制電壓輸入，為第個采樣點時的控制誤差，為第個采樣點時的壓電掃描管階躍響應值，初始狀態設置為。
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