[發明專利]一種OLED顯示面板生產用新型精細金屬掩膜版及制作方法

有效

• 申請號: 201310400757.5
• 申請日: 2013-09-05
• 公開（公告）號: CN103451598A
• 公開（公告）日: 2013-12-18
• 發明（設計）人: 杜衛沖;韓建崴;梅文輝
• 申請（專利權）人: 中山新諾科技有限公司
• 主分類號: C23C14/04
• 分類號: C23C14/04
• 代理公司: 中山市科創專利代理有限公司 44211
• 代理人: 鐘作亮

【技術領域】

本發明涉及半導體制造技術領域，更具體地說，涉及一種OLED顯示面板生產用新型精細金屬掩膜版及制作方法。?

【背景技術】

當前高像素密度的OLED（有機發光二極管，又稱為有機電激光顯示，具有自發光的特性）顯示面板的生產需要采用厚度很薄、熱膨脹系數小的精細金屬掩膜版（Fine?Metal?Mask，FMM）來作為掩膜版（或稱蔭罩板），用來蒸鍍OLED面板像元內的有機發光體（三基色）。?

OLED用精細金屬掩膜版通常使用因瓦合金（INVAR，又稱殷鋼）通過化學刻蝕的方法來制備，首先在因瓦合金表面涂覆光刻膠或感光干膜，通過曝光的方式將掩膜板的精細圖案轉移在感光膜上，再通過顯影和化學刻蝕的方式最后制成精細金屬掩膜版。?

通常精細金屬掩膜版的厚度只有30-200um，既薄又脆，將精細金屬掩膜版貼在蒸鍍有機發光體像元的基板（玻璃片或柔性的基材）表面，并保持很高的位置精度是非常困難的。需要將精細金屬掩膜版采用激光焊接在金屬框架上才能使用。在焊接過程中，由于要對金屬掩膜版施加的張力不均勻或熱效應等因素，很容易產生移位或損壞這張很薄的金屬掩膜版。?

另外，由于OLED的制備過程，每隔一段時間就必須通過清潔來阻止精細金屬掩膜版中的圖案因殘留物質引起的缺陷，非常容易導致精細金屬掩膜版中某些圖像單元的損壞，因此精細金屬掩膜版大約每兩個月就必須進行更換。由于以上各因素使得OLED顯示面板生產過程中，用于精細金屬掩膜版的成本相當昂貴。?

【發明內容】

本發明的目的是克服了現有技術中的不足而提供一種效果好、成本低的新型精細金屬掩膜版。?

本發明的另一目的是克服了現有技術中的不足而提供一種效果好、成本低的新型精細金屬掩膜版的制作方法。?

為了解決上述存在的技術問題，本發明采用以下的技術方案：?

一種OLED顯示面板生產用新型精細金屬掩膜版，其特征在于：包括有在金屬基板上設置多個通孔2形成的邊框1，在邊框1的上表面電鑄有一層精細掩膜4從而使精細掩膜4與邊框1結合為一體，所述精細掩膜4劃分有精細結構部分形成的圖形區域41和邊框區域42，所述圖形區域41與邊框上的通孔2相對應。?

如上所述的一種OLED顯示面板生產用新型精細金屬掩膜版，其特征在于：所述邊框1包括有四周支撐精細掩膜4的外部邊框11及內部支撐精細掩膜4的內部分隔框12。?

如上所述的一種OLED顯示面板生產用新型精細金屬掩膜版，其特征在于：所述邊框1上還設有多個定位掩膜版的對位孔(13)；所述邊框1的材質為因瓦合金或不銹鋼板。?

如上所述的一種OLED顯示面板生產用新型精細金屬掩膜版，其特征在于：所述精細掩膜4包括有熱膨脹系數低的金屬層和金屬襯底層3。?

如上所述的一種OLED顯示面板生產用新型精細金屬掩膜版，其特征在于：所述金屬層由鎳、鉬、鉻、鉑、錫中的兩組分或兩組分以上組成的鎳鐵合金制成。?

一種OLED顯示面板生產用新型精細金屬掩膜版的制作方法，其特征在于包括有如下步驟：?

A.準備金屬基板：將因瓦合金板或不銹鋼板開料，使之符合設計尺寸，形成金屬基板101；?

B.制作精細掩膜：在金屬基板101上涂覆光阻層202，將需要的圖案顯影在金屬基板101上的光阻層，再依次電鑄上金屬襯底層3和熱膨脹系數低的金屬層，形成掩膜版的精細掩膜4；?

C.腐蝕基板：在精細掩膜上劃有圖形區域41，通過化學刻蝕的方法將圖形區域41背部對應片區的金屬基板101腐蝕掉，形成通孔2，留下外部邊框11和內部分隔框12，使外部邊框11和內部分隔框12共同支撐起精細掩膜(4)。?

如上所述的一種OLED顯示面板生產用新型精細金屬掩膜版的制作方法，其特征在于：?

上述B步驟包括有如下小步驟：?

B₁、清洗：將金屬基板101通過酸洗，有機溶劑及去離子水超聲波清洗干凈5-15min，并放置到潔凈干燥箱中烘干；?

B₂、金屬基板加光阻：在金屬基板101的上、下層分別涂覆光阻層202，在下層光阻層202的下底面粘貼有光阻保護膜203；?