[發明專利]一種大型凹面鏡片清洗裝置及方法有效
| 申請號: | 201310398147.6 | 申請日: | 2013-09-04 |
| 公開(公告)號: | CN103447264A | 公開(公告)日: | 2013-12-18 |
| 發明(設計)人: | 李敏 | 申請(專利權)人: | 上海正帆科技有限公司;上海正帆半導體設備有限公司 |
| 主分類號: | B08B7/04 | 分類號: | B08B7/04;B08B1/02;B08B3/02;F26B21/00 |
| 代理公司: | 上海申匯專利代理有限公司 31001 | 代理人: | 翁若瑩 |
| 地址: | 201108*** | 國省代碼: | 上海;31 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 大型 凹面 鏡片 清洗 裝置 方法 | ||
1.一種大型凹面鏡片清洗裝置,其特征在于,包括:
帶有旋轉機構的可旋轉推車(1),大型凹面鏡片置于該旋轉機構上,大型凹面鏡片由該可旋轉推車推進或移出設備工作區域,并由旋轉機構帶動大型凹面鏡片繞其自身軸線旋轉;
毛刷旋轉清洗機構(2),位于進入設備工作區域的可旋轉推車(1)的上方,至少包括毛刷、水平移動機構、豎直移動機構、毛刷旋轉機構及毛刷位置監控單元,由水平移動機構帶動毛刷及毛刷位置監控單元在水平方向上做左右移動,由豎直移動機構帶動毛刷在豎直方向上做上下運動,由毛刷旋轉機構帶動毛刷繞自身軸線旋轉,由毛刷位置監控單元檢測毛刷相對于大型凹面鏡片的高度變化;
噴淋系統(3),用于向大型凹面鏡片的表面噴灑清洗劑或純水;
風刀系統(4),依靠風刀出口的高速風流,帶走大型凹面鏡片表面的水珠或水膜,實現快速干燥;
毛刷清洗裝置(5),用于對毛刷旋轉清洗機構(2)的毛刷進行自清洗及干燥;
清洗管路系統(6),用于向毛刷清洗裝置(5)及噴淋系統(3)提供清洗劑或純水;
電控單元(7),用于控制可旋轉推車(1)的旋轉機構、毛刷旋轉清洗機構(2)、噴淋系統(3)、風刀系統(4)、毛刷清洗裝置(5)及清洗管路系統(6)。
2.如權利要求1所述的一種大型凹面鏡片清洗裝置,其特征在于,在所述可旋轉推車(1)的底部安裝有軌道輪,該軌道輪與地面預鋪設的鐵軌配合,在所述可旋轉推車(1)上裝有用于帶動其在鐵軌上前后往復移動的電機;所述可旋轉推車(1)的旋轉機構的旋轉速度可調;電機及所述旋轉機構連接所述電控單元(7)。
3.如權利要求1所述的一種大型凹面鏡片清洗裝置,其特征在于,所述噴淋系統(3)的噴淋管沿所述大型凹面鏡片的半徑布置,其噴射的液體可以覆蓋被清洗大型凹面鏡片的半徑軸線。
4.如權利要求1所述的一種大型凹面鏡片清洗裝置,其特征在于,在所述風刀系統(4)的風刀前端加裝空氣加熱器,讓風刀出口吹出熱風。
5.如權利要求1所述的一種大型凹面鏡片清洗裝置,其特征在于,所述清洗管路系統(6)采用氣動泵作為動力源,其管道材質滿足高純要求。
6.一種采用如權利要求1所述裝置的大型凹面鏡片清洗方法,其特征在于,步驟為:
步驟1、可旋轉推車(1)進入設備工作區域后,由旋轉機構帶動置于其上的大型凹面鏡片繞其中心持續做圓周旋轉運動,由噴淋系統(3)向大型凹面鏡片的表面噴灑清洗劑;
步驟2、毛刷旋轉清洗機構(2)水平移動至大型凹面鏡片的上方,其毛刷初始定位在大型凹面鏡片的最外側,然后將毛刷降至與大型凹面鏡片貼合,毛刷開始自轉;
步驟3、當大型凹面鏡片在毛刷貼合后至少旋轉過1圈后,毛刷向大型凹面鏡片的中心移動一定距離,毛刷位置監控單元檢測到毛刷相對于大型凹面鏡片的高度位置發生變化后,反饋信號給電控單元(7),由電控單元(7)驅動豎直移動機構帶動毛刷下降直至其與大型凹面鏡片貼合,大型凹面鏡片至少再轉過1圈后,毛刷繼續向中心移動,以此往復直至將整個大型凹面鏡片表面清洗完畢;
步驟4、由噴淋系統(3)向大型凹面鏡片的表面噴灑純水,使其表面的清潔劑被噴灑干凈,隨后,由風刀系統(4)依靠風刀出口的高速風流,帶走大型凹面鏡片表面的水珠或水膜,實現快速干燥,干燥后,可旋轉推車(1)退出設備工作區域,完成對大型凹面鏡片的清洗。
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