[發(fā)明專利]激光加工裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201310395405.5
• 申請(qǐng)日: 2013-09-03
• 公開（公告）號(hào): CN103659003B
• 公開（公告）日: 2017-01-04
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 桐原直俊;波多野雄二;遠(yuǎn)藤智裕
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 株式會(huì)社迪思科
• 主分類號(hào): B23K26/53
• 分類號(hào): B23K26/53;B23K26/064
• 代理公司: 北京三友知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司11127
• 代理人: 李輝,金玲

1.一種激光加工裝置，其具有：卡盤臺(tái)，其保持被加工物；激光光線照射構(gòu)件，其對(duì)該卡盤臺(tái)所保持的被加工物照射激光光線；以及加工進(jìn)給構(gòu)件，其對(duì)該卡盤臺(tái)和該激光光線照射構(gòu)件相對(duì)地進(jìn)行加工進(jìn)給，

該激光加工裝置的特征在于，

該激光光線照射構(gòu)件具有：脈沖激光光線振蕩構(gòu)件，其振蕩出脈沖激光光線；以及聚光器，其對(duì)由該脈沖激光光線振蕩構(gòu)件振蕩出的脈沖激光光線進(jìn)行會(huì)聚，對(duì)該卡盤臺(tái)所保持的被加工物照射激光光線，

該聚光器具有雙折射透鏡和聚光透鏡，

該激光加工裝置具有：電光元件，其配設(shè)在該脈沖激光光線振蕩構(gòu)件與該聚光器之間，對(duì)該脈沖激光光線振蕩構(gòu)件振蕩出的脈沖激光光線的偏振光的方位角進(jìn)行變更；電壓施加構(gòu)件，其向該電光元件施加電壓；以及控制構(gòu)件，其控制該電壓施加構(gòu)件，

該控制構(gòu)件控制向該電光元件施加電壓的該電壓施加構(gòu)件，使得與脈沖激光光線的重復(fù)頻率同步地將脈沖激光光線的偏振光的方位角定位成0度和90度而引導(dǎo)至該雙折射透鏡，

該雙折射透鏡將偏振光的方位角被定位成0度和90度的脈沖激光光線分成尋常光和異常光而引導(dǎo)至該聚光透鏡，

該聚光透鏡針對(duì)被分成尋常光和異常光的脈沖激光光線，形成尋常光的聚光點(diǎn)和異常光的聚光點(diǎn)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光加工裝置，其中，

該控制構(gòu)件控制向該電光元件施加電壓的該電壓施加構(gòu)件，使得與脈沖激光光線的重復(fù)頻率同步地將脈沖激光光線的偏振光的方位角交替地定位成0度和90度而引導(dǎo)至該雙折射透鏡，

該雙折射透鏡將偏振光的方位角被交替地定位成0度和90度的脈沖激光光線交替地分成尋常光和異常光而引導(dǎo)至該聚光透鏡，

該聚光透鏡針對(duì)被交替地分成尋常光和異常光的脈沖激光光線，交替地形成尋常光的聚光點(diǎn)和異常光的聚光點(diǎn)。