[發明專利]制作柔性太陽電池用的剛性復合襯底制造方法

在審

• 申請號: 201310394483.3
• 申請日: 2013-09-03
• 公開（公告）號: CN104418510A
• 公開（公告）日: 2015-03-18
• 發明（設計）人: 趙彥民;張嘉偉;李微;喬在祥
• 申請（專利權）人: 中國電子科技集團公司第十八研究所
• 主分類號: C03C17/28
• 分類號: C03C17/28;H01L31/18;H01L31/0392
• 代理公司: 天津市鼎和專利商標代理有限公司 12101
• 代理人: 李鳳

1.制作柔性太陽電池用的剛性復合襯底制造方法，其特征在于：包括以下制備過程：

⑴采用蘇打玻璃作為剛性襯底，對蘇打玻璃進行表面清洗；

⑵將聚酰亞胺膠均勻涂覆于蘇打玻璃表面，形成聚酰亞胺預制膜；

⑶將涂有聚酰亞胺預制膜的蘇打玻璃放入烘箱內進行固化，蘇打玻璃一面形成作為柔性襯底的聚酰亞胺膜，完成柔性太陽電池用的剛性復合襯底的制作過程。

2.根據權利要求1所述的制作柔性太陽電池用的剛性復合襯底制造方法，其特征在于：所述⑴中蘇打玻璃的清洗清洗過程包括：將蘇打玻璃放入重鉻酸鉀溶液中浸泡2h，將蘇打玻璃取出用去離子水沖洗；將沖洗潔凈的蘇打玻璃置于濃度為99.5%的丙酮溶液中，放入超聲波清洗機中，超聲波頻率為20-30kHz，清洗20-25min；將蘇打玻璃從丙酮溶液中取出，用去離子水沖洗后，再將蘇打玻璃置于濃度為99.7%的酒精中，放入超聲波清洗機中，超聲波頻率為20-30kHz，清洗20-25min；最后將蘇打玻璃從酒精中取出，放入盛有去離子水的燒杯中，在超聲波清洗機中超聲波頻率為20-30kHz，每20-25min清洗一遍，共清洗三遍；所述⑵中聚酰亞胺預制膜的制備過程包括：把清洗過后的蘇打玻璃用氮氣吹干，放在勻膠機的轉盤上，將聚酰亞胺膠涂覆于蘇打玻璃表面，以1300-1500r/min的轉速勻速勻膠35-45s，蘇打玻璃表面形成聚酰亞胺預制膜；所述⑶中聚酰亞胺膜的固化過程包括：將有聚酰亞胺預制膜的蘇打玻璃放入烘箱，10-20min，烘箱溫度從25℃升至125-135℃；125-135℃維持20-30min；5-10min，烘箱溫度從125-135℃升至150-160℃；150-160℃維持10-15min；5-10min，烘箱溫度從150-160℃升溫至200-210℃；200-210℃維持15-20min；5-10min，烘箱溫度從200-210℃升至250-260℃；250-260℃維持15-20min；5-10min，將烘箱溫度從250-260℃升至340-350℃；340-350℃維持10-15min，然后自然降至25℃，聚酰亞胺預制膜固化在蘇打玻璃上，蘇打玻璃上面形成一層25-30μm的聚酰亞胺膜，完成聚酰亞胺膜-蘇打玻璃形成的剛性復合襯底的制作過程。