[發明專利]多層片式結構氧傳感器

有效

• 申請號: 201310394474.4
• 申請日: 2013-09-04
• 公開（公告）號: CN103454329A
• 公開（公告）日: 2013-12-18
• 發明（設計）人: 朱捷;肖建中
• 申請（專利權）人: 朱捷;肖建中
• 主分類號: G01N27/409
• 分類號: G01N27/409
• 代理公司: 南京縱橫知識產權代理有限公司 32224
• 代理人: 董建林

1.多層片式結構氧傳感器，包括氧化鋯敏感層、參比氣通道層、加熱層，所述氧化鋯敏感層上表面設置有外電極，下表面設置有內電極，其特征在于，在氧化鋯敏感層和參比氣通道層之間設置有調節不同結構層熱膨脹系數、防止層與層之間開裂的第一多孔過渡層，在參比氣通道層和加熱層之間設置有調節不同結構層熱膨脹系數、防止層與層之間開裂的第二多孔過渡層，多層片式結構氧傳感器依次排列為：氧化鋯敏感層、第一多孔過渡層、參比氣通道層、第二多孔過渡層和加熱層。

2.根據權利要求1所述的多層片式結構氧傳感器，其特征在于，所述多孔過渡層依次包括用于緊密粘合不同結構層、調節不同結構層熱膨脹系數、增加不同結構層穩定性能的穩定層，氧化鋯陶瓷層。

3.根據權利要求2所述的多層片式結構氧傳感器，其特征在于，所述多孔過渡層在穩定層上還設置有提高不同結構層間力學性能匹配的氧化鋁層。

4.根據權利要求2所述的多層片式結構氧傳感器，其特征在于，所述穩定層是氧化釔層。

5.根據權利要求2所述的多層片式結構氧傳感器，其特征在于，所述穩定層是氧化鎂層。

6.根據權利要求2所述的多層片式結構氧傳感器，其特征在于，所述穩定層是氧化鈣層。

7.根據權利要求1所述的多層片式結構氧傳感器，其特征在于，所述氧化鋯敏感層外側還設置有保護層。

8.根據權利要求7所述的多層片式結構氧傳感器，其特征在于，所述加熱層上設置有加熱電極。

9.根據權利要求8所述的多層片式結構氧傳感器，其特征在于，所述參比氣通道層設置有容納參比氣體的參比氣通道。

10.根據權利要求1-9任意一項所述的多層片式結構氧傳感器，其特征在于，所述第一多孔過渡層和第二多孔過渡層的厚度為10-25微米。