[發明專利]一種產品參數成品率估計方法

無效

• 申請號: 201310391408.1
• 申請日: 2013-08-31
• 公開（公告）號: CN103425896A
• 公開（公告）日: 2013-12-04
• 發明（設計）人: 游海龍;賈新章;張宇;梁濤;顧鎧
• 申請（專利權）人: 西安電子科技大學
• 主分類號: G06F19/00
• 分類號: G06F19/00
• 代理公司: 陜西電子工業專利中心 61205
• 代理人: 田文英;王品華

技術領域

本技術屬于微電子技術領域，跟進一步涉及電子元器件質量與可靠性評價領域的產品參數成品率估計的方法。本發明可用于在取得供應商或測試儀提供的數據情況下，直接計算出參數成品率。

背景技術

電子元器件參數成品率則是指產品在設計和制造后，其特性參數滿足規范要求的產品數與總制造產品數的比率。參數成品率是元器件質量及可靠性的一種重要表現，參數成品率、質量和可靠性之間存在著明顯相關關系。元器件在檢驗過程中出現的不合格品越多，即參數成品率低，其質量與可靠性水平也越低；當元器件參數成品率高時，元器件的失效率也在不斷下降，其質量與可靠性水平越高。因此準確的估計電子元器件或者制造工藝的成品率對于整機用戶合理選擇元器件供應商或者制造企業非常關鍵。

當前估計參數成品率的方法主要有兩種：一種是基于蒙特卡洛(Monte?Carlo，MC)法的成品率估計方法，采用軟件計算工具進行計算。這種方法理論比較完善，使用方便，能給出成品率的無偏估計，但是估計精度隨仿真次數的增加而減少，且由于對數據信息的利用率較低而導致所需的仿真次數較多。

第二種方法是基于模型的方法，先利用仿真數據或者廠商提供的數據將各電路性能擬合成工藝變化參數的模型，再利用該模型估計成品率，因此成品率估計的精度完全依賴于模型的精度。

清華大學申請的專利“一種基于徑向基網絡算法獲取集成電路成品率的方法”（申請號201210451975.7，公開號102945303A）公開了一種采用徑向基網絡算法獲取集成電路成品率的方法。該方法首先根據集成電路工藝廠商提供的工藝參數，采用徑向基網絡算法，建立一個替代電路仿真的替代模型，再根據最小范數方法獲取最易使集成電路失效的工藝浮動值，對替代模型和最易失效的工藝浮動值進行采樣分析，獲取采樣點和電路性能指標，通過統計學方法得到電路成品率。該方法的存在不足之處是：其一，需要對電路作數次以獲取擬合模型所用的數據；其二，最易使集成電路失效的工藝值不易獲取；其三，成品率估計過程非常的復雜，不易操作。

浙江大學申請的專利“一種分析和提高半導體生產線的成品率的方法”（申請號200710156700.X，公開號101183399A）公開了一種分析和提高半導體生產線的成品率的方法，通過利用測試芯片來精確地確定生產線的各種工藝模塊缺率陷曲線和接觸孔的失效率以及結合對產品版圖的每層斷電和漏電的有效面積曲線和接觸孔的個數的分析，從而建立成品率模型框架來實現的。該方法存在的不足之處是：其一，產品版圖的每層斷電和漏電的有效面積曲線比較難以獲取；其二，成品率估計的過程非常復雜。

當需要根據產品的性能測試數據估計其參數成品率時，上述的方法均無法使用。此時只能根據數據樣本估計分布參數進而估計成品率。

發明內容

為了克服上述已有技術的不足，本發明的目的在于提供一種產品參數成品率估計方法。本發明能夠在滿足單側截尾正態分布的條件下，采用簡單運算就可以取得一定精度的產品參數成品率。

為了實現上述目的，本發明的步驟如下：

（1）獲得樣本。

選取具有單側規范界限的產品性能參數測試文件中的數據，作為估計樣本。

（2）檢驗樣本是否為單側截尾正態分布。

采用軟件檢驗估計樣本數據的正態性，如果檢驗估計樣本為非正態性的，則舍棄該估計樣本數據；如果檢驗估計樣本是正態性的，則估計樣本呈單側截尾正態分布，執行步驟（3）。

（3）獲得樣本均值。

將呈單側截尾正態分布的估計樣本值代入均值計算公式中，獲得樣本均值，均值計算公式如下：

x‾=Σi=1nxi/n]]>

其中，表示樣本均值，i表示第i個樣本數據，x_i表示樣本值n表示樣本數。

（4）獲得樣本標準偏差。

將呈單側截尾正態分布的估計樣本的數值和步驟（3）中計算出的均值代入標準偏差計算公式中，獲得樣本標準偏差，標準偏差計算公式如下：