[發明專利]硅片烘烤的控制方法、控制裝置及其控制系統

有效

• 申請號: 201310390935.0
• 申請日: 2013-08-30
• 公開（公告）號: CN104423346B
• 公開（公告）日: 2017-01-18
• 發明（設計）人: 顧漢玉
• 申請（專利權）人: 華潤賽美科微電子（深圳）有限公司
• 主分類號: G05B19/418
• 分類號: G05B19/418
• 代理公司: 廣州華進聯合專利商標代理有限公司44224
• 代理人: 鄧云鵬

技術領域

本發明涉及集成電路制造領域，尤其涉及一種硅片烘烤的控制方法、控制裝置及其控制系統。

背景技術

在集成電路制造工藝中，常常需要進行將硅片放入烘烤的操作。不同工藝和不同產品需要進行的烘烤的方式和烘烤時長不同，使得現有的烘箱設備種類不一，操作方式也各不相同，監控方式也不同。并且，在實際的工廠設置中，由于不同的烘烤所處的工藝階段不同，不同的烘箱很可能位于不同的產房。

目前傳統的方式中在烘烤過程中針對每個烘箱設定定時器，每個定時器設定不同烘烤時間以監控對應的烘箱。這樣的方式，不便于對位于不同位置的不同類型的烘箱的烘烤工藝進行實時監控，不利于生產的進行。

發明內容

針對傳統方式中，不同烘箱單獨控制不利于生產進行的問題，本發明提供一種硅片烘烤的控制方法，包括：

獲取至少一個烘箱的烘烤結束時間，每個所述烘烤結束時間分別與每個所述烘箱對應；

按照預設時間間隔獲取當前時間；

將所述當前時間與每個所述烘箱對應的烘烤結束時間進行對比；

當所述烘箱對應的烘烤結束時間與所述當前時間相同時，則控制與與當前時間相同的所述烘烤結束時間所對應的烘箱報警。

在其中一個實施例中，所述獲取烘箱的結束時間的步驟包括：

分別獲取用戶輸入的每個所述烘箱的烘烤時長和烘烤開始時間；

根據所述烘烤時長和烘烤開始時間計算出對應烘箱的所述烘烤結束時間。

在其中一個實施例中，所述方法還包括：

當不存在所述烘箱對應的烘烤結束時間與所述當前時間相同時，則返回至所述按照預設時間間隔獲取當前時間的步驟。

在其中一個實施例中，所述當烘箱對應的烘烤結束時間與所述當前時間相同時，控制與當前時間相同的所述烘烤結束時間所對應的烘箱報警的步驟為：

當所述烘箱對應的烘烤結束時間與所述當前時間相同時，生成控制指令，并將所述控制指令發送至控制電路，所述控制電路通過所述控制指令控制與當前時間相同的所述烘烤結束時間所對應的烘箱的報警器報警。

本發明還提供了一種硅片烘烤控制裝置，所述裝置包括：

烘烤結束時間獲取模塊，用于獲取至少一個烘箱的烘烤結束時間，每個所述烘烤結束時間分別與每個所述烘箱對應；

當前時間獲取模塊，用于按照預設時間間隔獲取當前時間；

時間對比模塊，用于將所述當前時間與每個烘箱對應的烘烤結束時間進行對比；

控制指令生成模塊，用于當所述烘箱對應的烘烤結束時間與所述當前時間相同時，生成控制與當前時間相同的所述烘烤結束時間所對應的烘箱報警的指令。

在其中一個實施例中，所述烘烤結束時間獲取模塊還包括：

烘烤時長獲取模塊，用于分別獲取每個所述烘箱的烘烤時長；

烘烤開始時間獲取模塊，用于分別獲取每個所述烘箱進行烘烤的開始時間；

計算模塊，用于根據每個所述烘烤時長單元中的烘烤時長和當前時間計算出對應烘箱的所述結束時間。

本發明另提供了一種硅片烘烤的控制系統，包括硅片烘烤控制裝置、控制電路和多個與烘箱對應的報警器；所述硅片烘烤控制裝置包括：

烘烤結束時間獲取模塊，用于獲取至少一個烘箱的烘烤結束時間，每個所述烘烤結束時間分別與每個所述烘箱對應；

當前時間獲取模塊，用于按照預設時間間隔獲取當前時間；

時間對比模塊，用于將所述當前時間與每個烘箱對應的烘烤結束時間進行對比；

控制指令生成模塊，用于當所述烘箱對應的烘烤結束時間與所述當前時間相同時，生成控制與當前時間相同的所述烘烤結束時間所對應的烘箱報警的指令；

所述控制電路與所屬硅片烘烤裝置連接，用于接收所述指令，通過所述指令控制與所述烘箱對應的報警器報警。

在其中一個實施例中，所述烘烤結束時間獲取模塊還包括：

烘烤時長獲取模塊，用于分別獲取每個所述烘箱的烘烤時長；

烘烤開始時間獲取模塊，用于分別獲取每個所述烘箱進行烘烤的開始時間；

計算模塊，用于根據每個所述烘烤時長單元中的烘烤時長和當前時間計算出對應烘箱的所述結束時間。

本發明的技術方案中提供的硅片烘烤的控制方法以及控制裝置和控制系統中，將不同烘箱的烘烤時間集中管理，方便工程人員進行監控和管理。

附圖說明

圖1為一個實施例中提供的硅片烘烤的控制方法的流程圖；

圖2為一個實施例中提供的硅片烘烤的控制方法的實施原理圖；