[發明專利]一種投影物鏡數值孔徑測量裝置及方法有效
| 申請號： | 201310390028.6 | 申請日： | 2013-09-01 |
| 公開（公告）號： | CN103439868A | 公開（公告）日： | 2013-12-11 |
| 發明（設計）人： | 陳紅麗;邢廷文;林嫵媚;廖志杰 | 申請（專利權）人： | 中國科學院光電技術研究所 |
| 主分類號： | G03F7/20 | 分類號： | G03F7/20;G01M11/02 |
| 代理公司： | 北京科迪生專利代理有限責任公司 11251 | 代理人： | 楊學明;顧煒 |
| 地址： | 610209 *** | 國省代碼： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 投影 物鏡 數值孔徑 測量 裝置 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種投影物鏡數值孔徑測量裝置，其特征在于包括：
小孔陣列，安裝在物面支撐單元（104）；
投影物鏡，照明系統出射的光經過小孔陣列投射到投影物鏡；
工件臺，位于物鏡的像面，沿xyz向高精度步進；
波像差測量裝置，安裝在工件臺上，記錄波像差最小的位置（106）處的波像差和偏移波像差最小的位置（106）處的波像差。
2.根據權利要求1所述的一種投影物鏡數值孔徑測量裝置，其特征在于所述的波像差測量裝置為哈特曼波前傳感器或干涉儀。
3.一種利用權利要求1所述的一種投影物鏡數值孔徑測量裝置進行投影物鏡數值孔徑測量方法，其特征在于包括步驟：
步驟S1:將小孔陣列放置在物面上；
步驟S2:將波前探測器放置在物鏡像面位置；
步驟S3:設置物鏡NA,使用照明光束照明掩模；
步驟S4:使測試臺在Z方向運動，使用波前探測器找到波像差最小的位置，記錄此時的波像差值及Z向坐標位置；
步驟S5:使波前探測器處于一定的離焦位置，記錄此時的波像差和Z向坐標位置；
步驟S6:計算投影物鏡的數值孔徑。
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